本博客最初发布于cimetrix.com。
继多篇关于SECS/GEM系列的博客文章(包括采集事件、数据轮询和 报警)之后,我们现在将深入探讨GEM功能中名为配方管理的特性及其优势。我们将涵盖配方的定义、配方管理的含义以及您为何需要此功能!
什么是食谱?
配方是一组描述设备如何处理其物料的指令。配方内容由设备供应商定义。
什么是配方管理?
配方管理功能允许工厂主机与设备之间传输配方。该功能还要求设备在配方发生变更时向工厂主机发送通知。
为什么需要这个功能?
几乎所有半导体工厂都要求具备此功能,以确保工艺配方完整性并支持可追溯性。主机将从设备上传经批准的工艺配方并保存以备后续使用,从而确保配方内容不变。为实现可追溯性,工艺配方通常与工艺数据一同保存。
食谱管理是如何运作的?
配方通过SECS消息在主机与设备间传递。为此提供了多组SECS消息。E30 GEM规范了格式化、非格式化及大型配方消息集。本文不讨论大型配方消息集。
当操作员在设备上更改配方时,设备还需通知主机。系统将生成一个PPChange采集事件,包含两个数据变量:PPChangeName(存储已更改配方的PPID)和PPChangeStatus(存储变更类型,如创建、删除或编辑)。
配方传输至设备后,设备应验证其内容。若配方无效,则应生成包含验证失败信息的PPError数据变量的PPVerificationFailed采集事件,以通知主机存在问题。若验证失败,则不应使用该配方。
识别
每条配方均通过名为过程程序标识符(PPID)的ASCII名称进行标识。工厂主机和设备GEM接口在配方操作中均使用该名称。
坚韧
配方存储在GEM接口中。若主机断开连接后重新连接,或设备重启,GEM接口将记住配方。此外,大多数工厂主机会在工厂端保存配方。
使用哪些消息?
以下是与采集事件相关的主要消息的摘要。请注意,“S”代表“流”,“F”代表“功能”。流号与功能号共同构成消息的唯一标识符。
所有食谱
| 消息ID | 方向 | 描述 |
| S7F17 | 主机 -> 设备 | 从设备中删除配方。
空列表将从设备中删除所有配方。 |
| S7F19 | 主机->设备 | 请求设备提供可用食谱列表 |
未格式化的食谱
| 消息ID | 方向 | 描述 |
| S7F1 | Host<-Equipment | 设备请求上传配方 |
| S7F3 | Host<-Equipment | 设备将配方上传至主机 |
| S7F5 | Host<-Equipment | 设备向主机请求配方 |
| S7F1 | 主机->设备 | 主机请求下载食谱 |
| S7F3 | 主机->设备 | 主机将食谱下载至设备 |
| S7F5 | 主机->设备 | 主机向设备请求配方 |
格式化食谱
| 消息ID | 方向 | 描述 |
| S7F1 | Host<-Equipment | 设备请求上传配方 |
| S7F23 | Host<-Equipment | 设备将配方上传至主机 |
| S7F25 | Host<-Equipment | 设备向主机请求配方 |
| S7F1 | 主机->设备 | 主机请求下载食谱 |
| S7F23 | 主机->设备 | 主机将食谱下载至设备 |
| S7F25 | 主机->设备 | 主机向设备请求配方 |
| S7F29 | Host<-Equipment | 设备申请以验证配方 |
| S7F27 | Host<-Equipment | 设备发送配方验证结果 |
关于食谱管理的常见问题
食谱的最大传输量是多少?
对于未格式化的配方消息,配方要么是单个ASCII字符串,要么是二进制数组值。单个数组值的大小限制为16.777215 MB。
格式化配方消息,配方被拆分为项目列表。单个数组值限制为16.777215 MB。消息总大小限制为4.294967295 GB。