SECS/GEMシリーズ：レシピ管理

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SECS/GEMシリーズのブログ投稿（収集イベント、データポーリング、アラームなど）に続き、今回はGEM機能「レシピ管理」の特徴と利点について解説します。レシピの定義、レシピ管理の意義、そしてこの機能が必要な理由について詳しく見ていきましょう！

レシピとは何ですか？

レシピとは、装置が材料をどのように処理すべきかを記述した一連の手順である。レシピの内容は装置ベンダーによって定義される。

レシピ管理とは何ですか？

レシピ管理により、工場ホストは設備との間でレシピを転送できます。また、設備上でレシピが変更された際には、設備が工場ホストに通知する必要があります。

なぜこの機能が必要なのですか？

ほぼ全ての半導体工場では、レシピの完全性を確保しトレーサビリティをサポートするためにこの機能が必須です。ホストは装置から承認済みレシピをアップロードし、後で使用できるよう保存することで、レシピが変更されないことを保証します。トレーサビリティのため、レシピは通常プロセスデータと共に保存されます。

レシピ管理はどのように機能しますか？

レシピはホストと装置間でSECSメッセージを介して伝達される。これを実現するため、複数のSECSメッセージセットが存在する。E30 GEMはフォーマット済み、非フォーマット、および大型レシピメッセージセットを規定する。大型レシピメッセージセットについてはここでは扱わない。

また、オペレータが装置でレシピを変更した際には、ホストへの通知が装置に要求されます。PPChange収集イベントが生成され、2つのデータ変数（変更されたレシピのPPIDを含むPPChangeNameと、変更の種類（作成、削除、編集）を含むPPChangeStatus）が格納されます。

レシピが装置に転送された後、装置はその内容を検証すべきである。レシピが無効な場合、検証失敗情報を格納したPPErrorデータ変数を含むPPVerificationFailed収集イベントを生成し、ホストに問題を通知する必要がある。検証に失敗したレシピは使用すべきではない。

識別

各レシピは、プロセスプログラムID（PPID）と呼ばれるASCII名で識別されます。工場ホストと装置のGEMインターフェースは、レシピ操作においてこの名前を使用します。

持続性

レシピはGEMインターフェースに永続化されます。ホストが切断・再接続した場合、または装置が再起動された場合でも、GEMインターフェースはレシピを記憶します。さらに、ほとんどの工場ホストはレシピを工場側にも保存します。

どのメッセージが使用されますか？

以下は、収集イベントに関連する主要なメッセージの要約です。なお、「S」は「ストリーム」を、「F」は「機能」を識別します。ストリーム番号と機能番号を組み合わせることで、メッセージを一意に識別できます。

すべてのレシピ

フォーマットされていないレシピ

フォーマット済みレシピ

レシピ管理に関するよくある質問

レシピは最大どのくらいのサイズまで転送できますか？

フォーマットされていないレシピメッセージの場合、レシピは単一のASCII文字列またはバイナリ配列値のいずれかです。単一の配列値は16.777215 MBに制限されます。

フォーマットされたレシピメッセージでは、レシピはアイテムのリストに分割されます。単一の配列値は16.777215 MBに制限されます。メッセージの総サイズは4.294967295 GBに制限されます。