背景
SEMI北美信息与控制委员会首次在凤凰城会议中心举行的SEMICON West展会上召开会议。会议仍采用混合形式进行,与会者可选择现场或远程参与。
前两天专门用于工作组会议,包括GEM 300、ABFI(先进后端工厂集成)、GUI、CDS(制造与设备计算机及装置安全)以及DDA(诊断数据采集)等会议,均由Cimetrix工作组负责人主持。第三天则安排了委员会会议,通常依据各工作组的建议作出最终决策。
本摘要重点介绍了选定工作组会议及委员会会议中的关键进展。
请注意,所有经委员会批准的投票结果均须接受全球SEMI审计与审查委员会的最终审核。尽管在北美信息与控制委员会中较为罕见,但若未严格遵循SEMI程序与规定,投票仍可能被否决。
在工作组提交提案新标准或修改现有标准的投票前,必须先获得技术委员会对SNARF(标准新活动报告表)的批准。
如需获取更详细的信息,SEMI运营着一个全面的网站,涵盖全球委员会的各项活动:
新数字孪生工作组
本次会议成立了全新的"制造业数字孪生"专项工作组。该工作组由密歇根大学机械工程系副研究员詹姆斯·莫因发起,他不仅是SEMI标准制定的长期参与者,同时担任信息与控制委员会的联合负责人。新工作组将专注于制定数字孪生相关标准,例如构建数字孪生管理框架。詹姆斯、布莱恩·鲁博及数位成员将共同领导该工作组。 欢迎感兴趣者加入工作组!
GEM 300 特别工作组
在GEM 300特别工作组(及后续委员会)中,有三项投票通过,涉及修正E30、E40和E87标准中已知的变量问题。修订E192《GEM及GEM相关标准设备采用准则指南》的投票未获通过,但原因较轻微,可在下次修订投票时轻松修正。
关于修订E90基板追踪规范的7345号投票因提案技术方案引发争议而未获通过。该投票旨在解决两个问题:首先,批次位置状态模型中存在状态定义与转换表之间的矛盾。 当前标准将"未占用"状态定义为无基板存在,但转换表仅允许在批次内所有基板移至批次位置后转入"已占用"状态。 各方均认同此矛盾需解决,但目前存在三种解决方案。另一问题在于:当基片移入批次位置时,若未满足"批次内所有基片均已到达批次位置"的条件,则不会报告任何收集事件。对于批次设备而言,这意味着在此时间段内无法进行基片追踪。
- 引入新的加载/卸载集合事件,用于报告基底被加载到批处理中或从批处理中卸载的情况。该提案已在投票中提出。
- 要求使用底物位置状态模型对批次中的每个底物位置进行建模。
- 修改批次位置状态模型过渡,并重新定义“占用”和“未占用”状态的定义,以便在任何一个或多个基板被移至批次位置时触发收集事件。
每项提案都有其利弊需要权衡。在重新提交投票前,工作组将召开会议进一步讨论并确定技术方向。
此外,还有两项新的投票提案。一项次要提案将修改E116中已知的名称,以确保所有数据变量和状态变量具有唯一名称。另一项重大提案将提出新的安全HSMS协议E37.3,旨在规范SECS消息通信中传输层安全协议(TLS)的使用。 此举将使GEM技术在最小改动下符合网络安全最佳实践。布莱恩已在SEMICON West网络安全会议上就此主题展示了海报。
诊断数据采集(DDA)工作组
DDA工作组仍在致力于使用gRPC技术开发Freeze 3版本的EDA标准。 在上一轮投票周期中,我们进行了两项与Freeze 3相关的投票。E164标准的7178号提案未获通过。由于Freeze 3版本将包含该标准,必须先通过该提案才能宣布Freeze 3版本。7178号提案现已废止,并将被范围更广的新SNARF提案取代。下一轮投票将包含:
- 主要E164标准:构建EDA模型的要求与指南
- 针对E164的新从属标准,分别对应E30、E40和E87 GEM 300标准,详细说明如何在EDA中建模每个标准。
此外,在第三次尝试中,7321B提案获得通过,其中包含对E125滤波功能的修改以及对所有EDA标准的通用变更/修正。该提案纳入了来自EDA测试会议的变更内容,该会议旨在验证多个独立软件供应商之间的EDA兼容性。
此外,还有两项新的投票提案。其中一项旨在最终修订所有EDA标准。该提案计划至少包含以下内容:
- SEMI E125 – 支持多个SECS标识符的元数据定义。该提案旨在将SECS标识符移入实例(参数、简单事件和异常)中,以便当存在多个参数时,它们可共享单一定义,而实例则拥有唯一的SECS标识符。我们讨论的应用场景是当存在多个相同的温度传感器时,这些参数可共享一个定义。
- SEMI E132 – 提议新增安全证书变更通知消息。
- SEMI E134 – 缓存数据报告 – 当一个客户端激活另一个客户端已激活的DCP时,提供更清晰的信息
另一项新举措是更新SEMI E178标准,该标准定义了EDA冻结1和冻结2版本。启动这项工作向各方传递的信息是:EDA冻结3版本即将发布。所谓"即将发布"意味着在最佳情况下,该版本可能于2026年中期正式发布。
ABFI(高级后端工厂集成)工作组
在ABFI工作组中,一项旨在为E142基质映射标准定义通用名称的投票未获通过。待原始投票中的错误/遗漏修正后,该提案将在下一轮投票中通过。此外,该投票计划对子标准E142.4中的数据采集事件进行澄清说明,该事件用于报告基质映射何时准备就绪。
CDS(工厂与设备计算机及设备安全)工作组
工作组讨论了网络安全标准E187、E188和E191的未来走向。标准E187和E188均规定了设备供应商确保设备无恶意软件及遵循网络安全最佳实践的要求。这些标准发布于约四年前,意味着其内容已近五年之久,均已过时。 随着美国国家标准与技术研究院(NIST)取消SCAP 2.0计划,预计E188标准将不再更新以适应现代实践,而仅作为实施SEMI E187要求的指导性资源保留。未来工作重点将转向SEMI E187合规性,该标准在实施最佳网络安全实践方面具有更大灵活性。 与此同时,该标准的发源地台湾地区正着手推进SEMI E187的更新工作。
此外,北美地区正开展一项更新SEMI E191标准的新活动。目前该标准的范围仍较为狭窄,仅报告面向工厂的计算机基本信息,包括操作系统名称、制造商、版本及构建编号。新版标准将提供更多与网络安全评估相关的信息。由于新版本投票方案仍在制定中,具体细节目前仍保持灵活状态。
另有一项举措旨在通过gRPC接口提供SEMI E191信息。目前该信息仅可通过设备的GEM接口获取。
下一步行动
北美信息与控制委员会将在下一轮投票中采用SEMI第一轮投票周期。投票表决单须于2025年12月16日(星期二)前提交至SEMI。这些表决单将在2026年2月23日至26日举行的北美冬季SEMI标准会议上进行裁决。会议将在加利福尼亚州米尔皮塔斯的SEMI总部举行,或完全以线上形式进行。