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大学纳米制造工厂的数据分析：推动创新并促进实验室到工厂的技术转移 – 下载
加州大学圣塔芭芭拉分校（UCSB）的布莱恩·蒂博（Brian Thibeault）在本次演讲中，详细阐述了在开放式纳米制造设施中实施制造数据分析的战略方案。该方案探讨了UCSB纳米制造中心如何运用PDF Solutions公司的Exensio平台，实现从被动维护向主动统计过程控制（SPC）的转型，从而应对高混合度研发环境中的固有挑战。 文件通过二氧化硅与磷化铟蚀刻的具体技术案例，展示了关联数据分析、异常值检测及设备匹配技术如何显著提升工艺可重复性，并有效促进实验室至工厂的技术转移。
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