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AMS-Osram E-PC 迁移概念验证项目

AMS-Osram 与 PDF Solutions 合作,成功完成了一项概念验证(PoC),展示了从其旧有的 Maestria® FDC 系统向现代 Exensio® 工艺控制平台进行无缝迁移的途径——在此过程中,其拥有 280 台设备的晶圆厂环境(该环境每天产生约 9,000 次告警)的现有运营未受任何影响。 此次概念验证验证了三项核心能力:一种双系统技术迁移方案,在保留所有 Maestria 功能的同时,将 FDC 追踪数据实时集中到 E-PC 中; 六项强大的E-PC功能,包括设备匹配、动态统计报告、晶圆厂模型(效率提升达90%)、用于自动SVID冻结检测的自定义脚本指示器、预防性维护质量评估,以及晶圆厂精确复制与匹配;以及一个完全集成的FDC到良率管理工作流,该工作流将工艺指纹与晶圆分选分箱数据相结合,可在数分钟内(而非数天)精准定位根本原因。

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