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Exensio® 过程控制 6.1 和 6.2 版本的新功能
PDF Solutions 的 Exensio® Process Control 6.1 和 6.2 版本在性能、易用性和迁移能力方面为半导体晶圆厂带来了显著提升。 主要亮点包括：FDC 数据采集延迟大幅降低；提供了一套简化的工具包，用于从 Exensio Maestria® 迁移至 E-PC；以及在 SPC、FilterPlan、数据库管理和系统监控方面的一系列增强功能——所有这些改进均基于 73 个已解决的问题，涵盖了 bug 修复和新功能。
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