要旨 – プロセスウィンドウ全体で堅牢なOPCを展開することは、微細化が進むにつれてますます困難になっている。この課題は新製品の市場投入までの時間と歩留まりに重大な影響を及ぼす。本論文では、合理化されたOPC検証手法を用いたリソシミュレータのキャリブレーションフローを説明する。この新手法は設計と製造を効果的に連携させ、OPC開発プロセスを加速するとともに、歩留まりを低下させる可能性のある脆弱なOPC箇所を事前に特定する。 本手法では、自動取得した「オンシリコン」測定データを用いた精密なシミュレータ校正を実施後、校正済みモデルによるフルチップ露光シミュレーションで製品上の潜在的なホットスポットを特定する。さらにOPCモデル生成への短サイクルフィードバックループを可能とし、OPCの最適化と検証の精度向上を実現した。
キーワード: OPC、DFM、ホットスポット、CV、特性評価車両、歩留まり