글: 브라이언 루보우
SEMI 북미
- 지역 표준 위원회 공동 의장
- 정보·통제 위원회 공동위원장
- GEM 300 태스크포스 팀장
- DDA 태스크포스 팀장
- 고급 백엔드 팩토리 통합 태스크포스 팀장
- 제조업 디지털 트윈 태스크포스 팀장
배경
SEMI 북미 정보·제어 위원회의 가을 회의가 샌프란시스코 모스콘 센터에서 열린 SEMICON West와 함께 개최되었습니다.
첫 이틀 동안은 GEM 300, ABFI(Advanced Backend Factory Integration), GUI, CDS(Fab & Equipment Computer & Device Security), DDA(Diagnostics Data Acquisition), 디지털 트윈 태스크포스 등 PDF Solutions가 공동 주도하는 태스크포스 회의에 중점을 두었습니다. 이 태스크포스들은 반도체 장비, 공장 소프트웨어, 사이버 보안 시스템이 공급업체와 팹 간에 원활하게 연동될 수 있도록 하는 표준을 개발하고 유지 관리합니다.
3일 차에는 위원회 회의가 열렸으며, 위원들은 주로 태스크포스의 권고안을 바탕으로 최종 결정을 내렸습니다. 이 요약문은 위원회 회의에서 진행된 일부 태스크포스 세션의 주요 진행 상황을 정리한 것입니다.
위원회에서 승인된 모든 투표 결과는 전 세계 SEMI 감사 및 검토 위원회의 최종 검토를 거쳐야 합니다. 드문 경우이긴 하지만, SEMI 절차와 규정을 엄격히 준수하지 않을 경우 투표 결과가 부결될 수도 있습니다.
태스크포스가 새로운 표준을 제안하거나 기존 표준의 변경을 제안하는 투표안을 제출하기 전에, SNARF(표준 신규 활동 보고 양식)는 기술위원회의 승인을 받아야 합니다. SEMI는 전 세계 위원회 활동에 대한 상세한 정보가 담긴 포괄적인 웹사이트를 운영하고 있습니다:
디지털 트윈 태스크포스
이 태스크포스는 디지털 트윈 용어를 정의하고 반도체 산업 내 디지털 트윈에 대한 최소 요구 사항을 수립하는 안건 7465-1을 제출했습니다. 이번 심사 주기에서는 해당 안건이 통과되지는 않았으나, 논의 과정에서 반도체 제조 분야에서 디지털 트윈에 대한 공통 용어와 기본 요구 사항의 필요성에 대해 폭넓은 공감대가 형성되었습니다. 이 안건이 승인되면 새로운 SEMI 표준이 제정될 것이며, 디지털 트윈과 공장 시스템 간의 표준화된 인터페이스를 포함한 향후 작업의 토대가 마련될 것입니다.
GEM 300 태스크포스
GEM 300 표준은 반도체 장비와 공장 자동화 시스템 간의 자동화된 자재 이송 및 작업 관리에 사용되는 여러 인터페이스를 정의합니다. 태스크포스 및 위원회 회의에서 위원들은 투표안 7491, 7492 및 7493의 일부를 가결했습니다.
- 투표안 7491: E40 프로세스 작업 표준에 최근 추가된 기능을 지원하기 위해 표준화된 변수 정의를 추가합니다.
- 투표안 7492: E94 제어 작업 표준에 최근 추가된 기능을 지원하기 위해 표준화된 변수 정의를 추가합니다.
- 투표안 7493, 항목 2, 3: 내부 로드 포트가 있는 장비에 대한 로드 포트의 정의를 명확히 합니다. 또한 로드 포트의 캐리어 ID를 보고하기 위한 새로운 상태 변수를 정의합니다. 이는 각 고정 버퍼 로드 포트마다 두 개의 캐리어 ID 변수가 있는 현행 표준에 비해 장점이 있습니다. 새로운 변수를 사용하면 단일 변수를 확인하고 보고할 수 있습니다.
투표안 7493, 항목 1 이 안건은 부결되어 재검토될 예정입니다. 본 안건은 로드 포트 캐리어 동작을 관리하는 장비 상수에 대한 새로운 'well-known' 값과 캐리어 완료 예측 상태 모델과 관련된 'well-known' 값을 추가하는 것을 제안합니다.
투표용지 7345C (E90—기판 추적 사양) 투표용지의 결함으로 인해 부결되었습니다.
E90은 장비가 기판의 위치와 배치를 추적하는 방식을 정의합니다. 장비 아키텍처가 제각각이기 때문에, 배치를 생성하거나 삭제해야 하는 시점에 대해 업계 내에서 의견이 분분했습니다. 본 투표안은 표준 내의 모호성을 해소하고, 장비 공급업체 전반에 걸쳐 보다 일관된 동작을 제공하기 위해 마련되었습니다.
배치는 동시에 처리되는 기판의 집합을 의미합니다. 기판 처리 방식에 따라 배치를 생성하거나 삭제해야 하는 시점에 대한 의견이 엇갈려 왔습니다. 이번 투표는 배치 위치 상태 모델 내에서 상태 정의와 전환 표 사이에 존재하는 모순을 해결하기 위해 진행되었습니다. 표준에서는 UNOCCUPIED 상태를 기판이 전혀 없는 상태로 정의하고 있으나, 전환 표에서는 모든 기판이 배치 위치로 이동한 경우에만 OCCUPIED 상태로 전환할 수 있도록 허용하고 있습니다. 태스크포스는 이전에 세 가지 경쟁 제안안을 평가한 후 해결 방안에 합의했습니다.
사소한 기술적 오류와 추가 설명 요청으로 인해 이번 투표는 부결되었습니다. 이번 투표안에서는 배치와 관련하여 제안된 ‘형성(form)’ 및 ‘해산(disband)’이라는 용어에 대한 논란은 없었습니다. 또한, 이 버전의 투표안에서는 배치를 형성하기 위해 기판 이동이 필요했습니다. 몇 차례 논의 끝에, 이미 배치 위치에 있는 기판으로도 배치를 형성할 수 있도록 이 요건이 삭제될 예정입니다. 이 변경 사항으로 인해 투표안 전반에 걸쳐 수정이 필요합니다. 투표안 7345D의 새 버전이 작성되어 태스크포스의 검토를 위해 게시되었습니다.
투표안 7428B, 안전한 HSMS 통신의 표준화를 제안하는 이 안건은 공장 시스템과 장비 간의 통신을 암호화하기 위한 표준화된 접근 방식을 제공한다는 점에서 현재 진행 중인 가장 중요한 노력 중 하나로 남아 있습니다. 이 안건은 3단계 통신 모델을 정의하고 있습니다:
- TCP/IP
- TLS (전송 계층 보안)
- HSMS-SS
이 투표안은 의도된 범위를 벗어나, 본 표준에서 다루고자 한 바가 아닌 제조사가 관리하는 인증서 관리 영역까지 다루는 두 가지 요구 사항으로 인해 부결되었습니다. 이에 따라 투표안 7428C의 새 버전이 작성되어 태스크포스의 검토를 위해 게시되었습니다.
DDA(진단 데이터 수집) 태스크포스
DDA 태스크포스는 차세대 반도체 장비 데이터 수집 인터페이스인 EDA의 ‘Freeze 3’ 개발을 계속 진행하고 있습니다. Freeze 3는 최신 gRPC 기술을 기반으로 하며, 상호 운용성과 구현 일관성을 향상시키는 것을 목표로 합니다.
DDA 태스크포스는 gRPC 기술을 기반으로 한 EDA/인터페이스 표준의 ‘Freeze 3’ 버전을 최종 확정하는 작업을 계속하고 있습니다. 최근 검토 주기 동안 두 건의 투표안이 검토되었습니다:
- 투표안 7422B (E164) 부결되었습니다. Freeze 3은 E164에 의존하므로, Freeze 3을 완료로 선언하기 전에 이 표준이 통과되어야 합니다. 태스크포스는 이를 수정하여 재투표할 예정입니다. E30, E40 및 E87에 대한 하위 표준들이 주 표준인 E164 투표안에 포함되었으나, 여러 오류가 발견되었습니다. 이러한 오류로 인해 전체 투표안이 부결되었습니다. 향후 투표안 7422C에서 이러한 문제들을 수정하여 함께 통과시킬 수 있을 것으로 기대합니다.
- 투표안 7488 최종 기술적 업데이트를 위한 비준 투표 단계로 넘어갔습니다. 이 투표안은 기술적으로는 E120, E125, E132, E134, E179를 포함하고 있지만, 실제로는 매개변수 모델링과 관련된 E125의 변경 사항만 포함하고 있습니다.
태스크포스 위원 한 명이 구현 과정에서 나온 피드백을 바탕으로 핵심 EDA 표준에 몇 가지 추가 변경 사항을 요청했습니다. 이러한 변경 사항은 7422C와 동시에 표결에 부쳐질 예정이며, 이를 통해 EDA 3차 확정 작업이 마무리되기를 기대합니다.
CDS(제조 및 장비, 컴퓨터 및 기기 보안) 태스크포스
태스크포스는 다음을 제출했다. 투표안 7426호를 제출했는데, 이는 SEMI E191(컴퓨팅 장치 사이버 보안 현황 보고)에 대한 주요 개선 사항을 제안하는 것입니다. 현재의 보고 요건은 다음과 같습니다:
- E191-1024 (현재 버전): ComputingDeviceIdentifier, OSManufacturer, OSName, OSVersion, OSBuild
- 투표용지 7311A 추가 항목: OSInstalledUpdates, OSInstalledComponents
- GEM (SEMI E30): MDLN (모델 번호), SOFTREV (소프트웨어 버전), EqSerialNum, E30EquipmentSupplier, EqpName
최근 투표안 7311A에 대한 업데이트가 발표됨에 따라, 투표안 7426에 대한 작업이 진행 중입니다. 이 제안에는 다음 내용이 추가됩니다:
- 열려 있거나 설정된 포트 목록 및 관련 프로세스
- 실행 중인 프로세스
- 로컬 사용자 계정
- 방화벽 상태
- 장치 드라이버 버전
- BIOS 정보
이러한 기능이 추가되면 공장 측은 연결된 장비의 사이버 보안 현황을 훨씬 더 명확하게 파악할 수 있게 되어, 자산 관리, 취약점 평가 및 규정 준수 프로그램 수행에 도움이 될 것입니다.
이번 투표는 부결되었고 일부 투표자들이 주저하는 모습을 보였지만, 대다수는 이 추가 정보의 공개를 지지하는 것으로 보입니다. 심지어 몇몇 투표자들은 투표 항목에 데이터를 더 추가할 것을 제안하기도 했습니다. 이 투표 항목에는 표준화된 JSON 스키마 파일을 사용하여 사이버 보안 정보를 보고하는 내용이 포함되어 있는데, 이는 GEM 인터페이스를 사용할 수 없을 때 유용합니다. 이 JSON 파일은 일반적인 이름/값 데이터를 사용하여 스키마를 변경하지 않고도(예: E191이 추가로 확장되는 경우 등) 더 많은 데이터를 보고할 수 있도록 하는 미래 지향적인 스키마를 갖추고 있습니다. 또한 이 투표안에는 사이버 보안 데이터 공유가 IT 정책을 위반하는 경우 해당 데이터 범주를 비활성화할 수 있는 구성 기능도 제공됩니다.
다음 단계
북미 정보·통제 위원회는 다음을 활용할 것입니다:
- 제9차 비준 투표 (2026년 10월 21일~11월 20일)
- 제7차 일반 투표용지 (제출 마감일: 2027년 2월 1일 월요일; 투표 기간: 2027년 2월 11일 ~ 3월 15일)
위원회는 북미 겨울 SEMI 표준 회의에서 투표 결과를 검토하고, 의견에 대한 심사를 진행하며, 최종 투표 처리 방안을 결정할 예정입니다.
개별 표준에 대한 자세한 내용은 당사 웹사이트의 ‘산업 표준’ 섹션을 참조해 주십시오.