著者：ブライアン・ルボウ
SEMI 北米
- 地域基準委員会共同委員長
- 情報・管理委員会共同委員長
- GEM 300 タスクフォースリーダー
- DDAタスクフォースリーダー
- 高度なバックエンド・ファクトリー統合タスクフォースリーダー
- 製造分野におけるデジタルツイン・タスクフォースのリーダー
背景
SEMI北米情報・制御委員会の秋季会合は、サンフランシスコのモスコーン・センターで開催されたSEMICON Westと併せて行われました。
最初の2日間は、GEM 300、ABFI（Advanced Backend Factory Integration）、GUI、CDS（Fab & Equipment Computer & Device Security）、DDA（Diagnostics Data Acquisition）、およびデジタルツイン・タスクフォースなど、いずれもPDF Solutionsが共同で主導するタスクフォースの会議に重点が置かれた。これらのタスクフォースは、半導体製造装置、工場用ソフトウェア、およびサイバーセキュリティシステムが、サプライヤーやファブをまたいで連携できるようにするための規格を策定・維持している。
3日目には委員会会議が開催され、委員たちは主にタスクフォースの提言に基づいて最終決定を行いました。本要約では、委員会会議におけるタスクフォースの各セッションから、特に重要な進展をピックアップして紹介します。
委員会によって承認されたすべての投票用紙は、SEMIのグローバル監査・審査委員会による最終審査の対象となります。稀なケースではありますが、SEMIの手順や規定を厳格に遵守していない場合、投票用紙が不承認となる可能性があります。
タスクフォースが新規規格の提案や既存規格の変更案を投票にかけるには、SNARF（Standards New Activity Report Form：新規規格活動報告書）が技術委員会の承認を得ている必要があります。SEMIは、世界各国の委員会の活動に関する詳細情報を掲載した包括的なウェブサイトを運営しています：
デジタルツイン・タスクフォース
このタスクフォースは、デジタルツインの用語を定義し、半導体業界におけるデジタルツインの最低要件を定める投票案7465-1を提出しました。今回のサイクルではこの投票案は可決されませんでしたが、議論を通じて、半導体製造におけるデジタルツインの共通用語および基本要件の必要性について、幅広い合意が得られたことが示されました。この投票案が承認されれば、新たなSEMI規格が制定され、デジタルツインと工場システム間の標準化されたインターフェースを含む、今後の取り組みの基盤となるでしょう。
GEM 300 タスクフォース
GEM 300規格は、半導体製造装置とFAシステム間の自動化された材料搬送およびジョブ管理に使用されるインターフェースの多くを規定しています。タスクフォースおよび委員会の会合において、メンバーは投票案7491、7492、および7493の一部を可決しました。
- 投票案 7491: E40プロセスジョブ規格に最近追加された機能をサポートするため、標準化された変数定義を追加する。
- 投票案 7492: E94 ジョブ制御規格に最近追加された機能をサポートするため、標準化された変数定義を追加する。
- 投票案7493、項目2、3：内部ロードポートを備えた機器におけるロードポートの定義を明確化します。また、ロードポートのキャリアIDを報告するための新しいステータス変数を定義します。これは、固定バッファのロードポートごとに2つのキャリアID変数が必要となる現行規格に比べて利点があります。この新しい変数により、単一の変数でチェックと報告が可能になります。
投票案 7493 項目 1 は否決され、再検討されることになりました。本投票案は、ロードポートのキャリア動作を管理する機器定数に関する新たな「well-knowns」および、キャリアの完了予測状態モデルに関連する「well-knowns」の追加を提案するものです。
投票用紙 7345C（E90—基板追跡仕様書） 投票用紙の不備により、採決は不成立となった。
E90は、装置が基板の位置やバッチを追跡する方法を規定しています。装置のアーキテクチャが異なるため、バッチをいつ作成・削除すべきかについて業界内で意見の相違が生じていました。本投票は、規格における曖昧さを解消し、各装置メーカー間でより一貫性のある動作を実現することを目的としています。
バッチとは、同時に処理される基板のグループを指します。 基板の取り扱い方法の違いにより、バッチをいつ作成・削除すべきかについて意見の相違が生じていました。本投票は、バッチロケーションの状態モデルにおいて、状態の定義と遷移表の間に存在する矛盾を解決することを目的としていました。規格では、UNOCCUPIED状態は基板を含まない状態と定義されていますが、遷移表では、すべての基板がバッチロケーションに移動した場合にのみ、OCCUPIED状態への遷移が許可されています。タスクフォースは、事前に3つの競合する提案を評価した上で、解決策について合意に達しました。
今回の投票は、軽微な技術的な誤りや追加の説明を求める要望があったため、不成立となりました。今回の投票案では、バッチに関連する「形成」および「解散」という提案用語について、異論は出ませんでした。また、このバージョンの投票案では、バッチを形成するために基板の移動が必要とされていました。議論の結果、バッチ配置場所にすでに配置されている基板からバッチを形成できるようにするため、この要件は削除されることになりました。この変更に伴い、投票案全体にわたって修正が必要となります。 投票案7345Dの新しいバージョンが作成され、タスクフォースによる検討のために公開されました。
Ballot 7428Bは、セキュアなHSMS通信の標準化を提案するものであり、工場システムと機器間の通信を暗号化するための標準化されたアプローチを提供するため、現在進行中の取り組みの中でも最も重要なもののひとつであり続けています。この提案では、3段階の通信モデルを定義しています：
- TCP/IP
- TLS（トランスポート層セキュリティ）
- HSMS-SS
この投票案は、意図された範囲を超え、本規格の対象外である工場が管理する証明書管理にまで踏み込んだ2つの要件があったため、否決されました。投票案7428Cの新しいバージョンが作成され、タスクフォースによる検討のために公開されました。
DDA（診断データ収集）タスクフォース
DDAタスクフォースは、半導体製造装置のデータ収集インターフェースの次世代主要規格であるEDAの「Freeze 3」に関する作業を継続しています。Freeze 3は最新のgRPC技術に基づいており、相互運用性と実装の一貫性を向上させることを目的としています。
DDAタスクフォースは、gRPC技術に基づくEDA/インターフェース規格の「Freeze 3」版の最終調整を続けています。直近のサイクルでは、2件の投票案が検討されました：
- 投票案 7422B (E164) 否決されました。フリーズ3はE164に依存しているため、フリーズ3を完了と宣言するには、この標準が可決される必要があります。タスクフォースはこれを修正し、再投票を行う予定です。 E30、E40、およびE87の従属規格は、主要なE164の投票案に含められていたが、いくつかの誤りがあった。これらの誤りが原因で、投票案全体が否決された。投票案7422Cにおいてこれらの問題を修正し、まとめて可決できるものと見込んでいる。
- 投票案 7488 最終的な技術的更新のため、承認投票に進みました。この投票案は、技術的にはE120、E125、E132、E134、E179を含んでいますが、実際にはパラメータのモデリングに関連するE125の変更のみが含まれていました。
タスクフォースのメンバーの一人が、導入時のフィードバックを踏まえ、EDAの中核規格についてさらにいくつかの変更を要請しました。これらの変更は7422Cと同時に採決にかけられ、EDAフリーズ3が完了することが期待されています。
CDS（製造・設備、コンピュータ・デバイスセキュリティ）タスクフォース
タスクフォースは以下を提出した 投票案7426を提出した。これは、SEMI E191（コンピューティングデバイスのサイバーセキュリティ状況報告）に対する大幅な改善を提案するものである。現在の報告要件には以下が含まれる：
- E191-1024（現行バージョン）： ComputingDeviceIdentifier、OSManufacturer、OSName、OSVersion、OSBuild
- 投票用紙 7311A の追加項目： OSInstalledUpdates、OSInstalledComponents
- GEM (SEMI E30)： MDLN（型番）、SOFTREV（ソフトウェアリビジョン）、EqSerialNum、E30EquipmentSupplier、EqpName
Ballot 7311A の最新情報が先日公開されたことを受け、Ballot 7426 に関する作業が進められています。この提案では、以下の内容が追加されています：
- 開いているポートおよび確立済みのポートの一覧と、それに関連するプロセス
- 実行中のプロセス
- ローカルユーザーアカウント
- ファイアウォールの状態
- デバイスドライバのバージョン
- BIOS情報
これらの機能追加により、工場はネットワークに接続された機器のサイバーセキュリティ状況について、これまで以上に詳細な可視性を得ることができ、資産管理、脆弱性評価、およびコンプライアンスプログラムの推進に役立つでしょう。
この投票は否決され、数名の投票者が躊躇している様子も見られますが、過半数はこの追加情報の公開を支持しているようです。中には、投票項目にさらなるデータを追加するよう提案した投票者も数名いました。この投票項目には、標準化されたJSONスキーマファイルを用いたサイバーセキュリティ情報の報告が含まれており、GEMインターフェースが利用できない場合に役立ちます。 このJSONファイルは、汎用的な名前/値データを使用することで、スキーマを変更することなく（E191がさらに拡張された場合など）、より多くのデータを報告できるようにする将来を見据えたスキーマを備えています。また、この投票案には、サイバーセキュリティデータの共有がITポリシーに違反する場合に備え、特定のカテゴリのデータを無効にする設定機能も用意されています。
今後の手順
北米情報・統制委員会は、以下のものを使用する：
- 第9サイクル 批准投票（2026年10月21日～11月20日）
- 第7サイクル 一般投票（提出締切：2027年2月1日（月）；投票期間：2027年2月11日～3月15日）
同委員会は、北米冬季SEMI規格会議において、投票結果の審査、意見の審査・判断を行い、投票の最終的な処理を決定する。
個々の規格に関する詳細については、当社のウェブサイトの「業界規格」セクションをご覧ください。