作者：布萊恩·魯鮑
SEMI 北美
- 區域標準委員會共同主席
- 資訊與控制委員會共同主席
- GEM 300 專案小組組長
- DDA 專案小組組長
- 進階後端工廠整合專案小組組長
- 製造業數位孿生專案小組負責人
背景
SEMI 北美資訊與控制委員會的秋季會議，與 SEMICON West 一併於舊金山的莫斯康展覽中心舉行。
前兩天主要聚焦於各專案小組會議，包括 GEM 300、ABFI（先進後端工廠整合）、GUI、CDS（晶圓廠與設備電腦及裝置安全）、DDA（診斷資料擷取）以及數位孿生專案小組，所有小組均由 PDF Solutions 共同領導。這些專案小組負責制定並維護相關標準，以確保半導體設備、工廠軟體及網路安全系統能夠跨越供應商與晶圓廠的界限，實現無縫協作。
第三天舉行了委員會會議，與會成員主要依據專案小組的建議做出了最終決定。本摘要重點概述了委員會會議中部分專案小組會議的關鍵進展。
所有經委員會核准的投票表單，仍須接受 SEMI 全球審計與審查委員會的最終審查。雖然情況罕見，但若投票表單未嚴格遵循 SEMI 的程序與規定，仍可能被駁回。
工作小組在提交提案，以制定新標準或修改現有標準之前，必須先讓 SNARF（標準新活動報告表）獲得技術委員會的批准。SEMI 設有一個內容詳盡的網站，提供有關全球委員會活動的詳細資訊：
數位孿生專案小組
該專案小組提交了第 7465-1 號表決案，該案旨在定義數位孿生術語，並為半導體產業的數位孿生制定最低要求。儘管該表決案在本輪未獲通過，但討論過程顯示，各界對於半導體製造領域中需要建立數位孿生的通用術語與基礎要求，已達成廣泛共識。一旦獲批，此表決案將確立一項新的 SEMI 標準，並為未來的工作奠定基礎，包括建立數位孿生與工廠系統之間的標準化介面。
GEM 300 專責小組
GEM 300 標準定義了半導體設備與工廠自動化系統之間，用於自動化物料搬運及工作管理的多項介面。在專案小組及委員會會議期間，成員們通過了第 7491 號、第 7492 號決議案，以及第 7493 號決議案的部分內容。
- 提案 7491：新增標準化的變數定義，以支援 E40 流程工作標準中近期新增的功能。
- 提案 7492：新增標準化的變數定義，以支援 E94 控制工作標準中近期新增的功能。
- 投票案 7493，第 2、3 項：釐清了具備內部載入埠之設備的載入埠定義。同時定義了一項新的狀態變數，用於回報載入埠的載體識別碼——相較於現行標準中每個固定緩衝區載入埠需使用兩個載體識別碼變數，此設計更具優勢。透過這項新變數，僅需檢查並回報單一變數即可。
投票案 7493 第 1 項 未獲通過，將重新修訂。本提案旨在新增用於管理載入埠載體行為的設備常數標準值，以及與載體完整預測狀態模型相關的標準值。
選票 7345C（E90—基板追蹤規範） 因表決案存在瑕疵而未獲通過。
E90 規範了設備如何追蹤基板的位置與批次。由於設備架構各異，業界對於何時應建立及刪除批次存在分歧。本次表決旨在消除標準中的模糊之處，並確保不同設備供應商之間能展現更一致的運作行為。
批次代表一組同時處理的基板。 由於基板處理方法各異，導致各界對於何時建立及刪除批次存在分歧。本次表決旨在解決「批次位置」狀態模型中，狀態定義與轉換表之間存在的矛盾。該標準定義「未佔用」（UNOCCUPIED）狀態為不含任何基板，然而轉換表卻規定，僅當所有基板均已移入批次位置時，才允許轉換至「佔用」（OCCUPIED）狀態。工作小組在先前評估了三項相互競爭的提案後，已就解決方案達成共識。
此次表決因輕微技術錯誤及要求進一步澄清而未通過。在此輪表決中，針對批次所提出的「形成」與「解散」等術語並未引發爭議。此外，此版本的表決案要求必須移動基板才能形成批次。經討論後，將移除此項要求，以便能利用已位於批次位置的基板來形成批次。此項變更需對表決案全篇進行相應調整。 已建立 7345D 投票案的新版本，並發布供專案小組審閱。
投票案 7428B，該提案旨在標準化安全 HSMS 通訊，至今仍是當前最重要的努力之一，因為它為工廠系統與設備之間的通訊加密提供了標準化方法。該提案定義了一個三階段通訊模型：
- TCP/IP
- TLS（傳輸層安全性）
- HSMS-SS
該投票案因兩項超出預期範圍的要求而未獲通過，這些要求涉及由製造商負責的憑證管理，而這並非本標準的規範範圍。已製作 7428C 號投票案的新版本，並已發布供工作小組審閱。
DDA（診斷資料擷取）專案小組
DDA 專案小組持續推進 EDA「Freeze 3」版本的開發工作，此版本為下一代半導體設備資料擷取介面。Freeze 3 基於現代化的 gRPC 技術，旨在提升互通性與實作的一致性。
DDA 專案小組正持續針對基於 gRPC 技術的 EDA/介面標準「Freeze 3」版本進行最終定稿。在最近一個週期中，審查了兩項表決案：
- 投票案 7422B (E164) 未通過。由於「Freeze 3」依賴於 E164，因此必須先通過此標準，才能宣告「Freeze 3」完成。專案小組將進行修訂並重新進行表決。 E30、E40 及 E87 的從屬標準被納入主要 E164 表決案中，其中存在數項錯誤。這些錯誤導致整個表決案未獲通過。我們預期能在 7422C 號表決案中修正這些問題，並將其一併通過。
- 第 7488 號表決案 已進入核准表決階段，以進行最終的技術更新。此表決案雖在技術上包含 E120、E125、E132、E134 及 E179，但實際上僅包含 E125 中與參數建模相關的變更。
工作小組的一名成員根據實施反饋，要求對核心 EDA 標準進行幾項額外修改。這些修改將與 7422C 一併進行表決，希望能藉此完成 EDA 第 3 次版本凍結。
CDS（製造與設備、電腦及裝置安全）專案小組
該專案小組提交了 第 7426 號提案，該提案建議對 SEMI E191（運算裝置網路安全狀態報告）進行重大改進。現行報告要求包括：
- E191-1024（現行版本）： ComputingDeviceIdentifier、OSManufacturer、OSName、OSVersion、OSBuild
- 選票 7311A 新增項目： OSInstalledUpdates、OSInstalledComponents
- GEM (SEMI E30)： MDLN（型號）、SOFTREV（軟體版本）、EqSerialNum、E30EquipmentSupplier、EqpName
隨著第 7311A 號提案的最新更新內容近期發布，第 7426 號提案的相關工作正持續推進。此提案新增以下內容：
- 已開啟及已建立的埠清單及其相關程序
- 正在執行的程序
- 本機使用者帳戶
- 防火牆狀態
- 裝置驅動程式版本
- BIOS 資訊
這些新增功能將使工廠能更清晰地掌握聯網設備的網路安全狀況，從而協助推動資產管理、漏洞評估及合規計畫。
雖然這項表決未獲通過，且有幾位投票者表現出猶豫，但多數人似乎支持公布這項額外資訊。甚至有幾位投票者建議在表決案中增加更多資料。該表決案包含使用標準化 JSON 架構檔案來回報資安資訊——當沒有 GEM 介面可用時，這將非常實用。 該 JSON 檔案採用前瞻性的架構，透過通用名稱/值資料格式，可在不修改架構的前提下，支援更多資料的回報（例如當 E191 進一步擴展時）。此外，該表決案還提供一項配置功能，可停用特定類別的網路安全資料，以防資料分享行為違反 IT 政策。
下一步
北美資訊與控制委員會將採用：
- 第 9 輪 批准投票（2026年10月21日至11月20日）
- 第 7 輪 一般投票（提交截止日期：2027年2月1日（星期一）；投票期間：2027年2月11日至3月15日）
該委員會將於北美冬季 SEMI 標準會議上審查投票結果、裁決相關意見，並決定最終的表決處理方式。
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