作者：布莱恩·鲁博
SEMI 北美
- 区域标准委员会联合主席
- 信息与控制委员会联席主席
- GEM 300 工作组组长
- DDA 工作组组长
- 高级后端工厂集成工作组组长
- 制造业数字孪生工作组组长
背景
SEMI北美信息与控制委员会秋季会议与SEMICON West展会同期在旧金山莫斯康尼中心举行。
前两天主要围绕各工作组会议展开，包括GEM 300、ABFI（先进后端工厂集成）、GUI、CDS（晶圆厂与设备计算机及设备安全）、DDA（诊断数据采集）以及数字孪生工作组，这些工作组均由PDF Solutions共同领导。这些工作组负责制定和维护相关标准，以确保半导体设备、工厂软件和网络安全系统能够在不同供应商和晶圆厂之间实现协同工作。
第三天举行了委员会会议，与会成员主要依据工作组的建议做出了最终决定。本摘要重点介绍了委员会会议期间部分工作组会议上的主要进展。
所有经委员会批准的投票表单仍须接受SEMI全球审计与审查委员会的最终审核。虽然这种情况很少见，但如果投票表单未严格遵循SEMI的程序和规定，仍可能被驳回。
工作组在提交提案，提议制定新标准或修改现有标准之前，SNARF（标准新活动报告表）必须获得技术委员会的批准。SEMI 维护了一个内容全面的网站，其中提供了有关全球委员会活动的详细信息：
🔗 SEMI标准制定
数字孪生工作组
该工作组提交了编号为7465-1的表决案，该案对“数字孪生”术语进行了定义，并制定了半导体行业数字孪生的最低要求。尽管该表决案在本轮审议中未获通过，但讨论表明，各方在半导体制造领域需要建立数字孪生的通用术语和基准要求方面达成了广泛共识。一旦获得批准，该表决案将确立一项新的SEMI标准，并为未来的工作奠定基础，包括建立数字孪生与工厂系统之间的标准化接口。
GEM 300 特别工作组
GEM 300 标准定义了半导体设备与工厂自动化系统之间用于自动化物料搬运和作业管理的许多接口。在工作组和委员会会议期间，成员们通过了第 7491 号、第 7492 号以及第 7493 号标准的部分内容。
- 投票案 7491：添加了标准化的变量定义，以支持 E40 流程作业标准中最近新增的功能。
- 投票案 7492：添加了标准化的变量定义，以支持 E94 控制作业标准中最近新增的功能。
- 投票案 7493，第 2、3 项：澄清了具有内部装载端口的设备的装载端口定义。同时定义了一个新的状态变量，用于报告装载端口的载体ID——这比现行标准更具优势，因为现行标准中每个固定缓冲区装载端口都有两个载体ID变量。新变量允许通过检查和报告单个变量来实现这一功能。
第7493号投票案 第1项 未获通过，将进行修订。本提案旨在新增用于管理负载端口承载体行为的设备常量标准值，以及与承载体完整预测状态模型相关的标准值。
第7345C号投票案（E90——基板追踪规范） 因表决单存在缺陷而未获通过。
E90 规定了设备如何追踪基板的位置和批次。由于设备架构各不相同，业界对何时应创建和删除批次存在分歧。本次表决旨在消除标准中的歧义，并在不同设备供应商之间实现更一致的行为。
一个批次代表一组同时处理的基板。 由于基板处理方法各异，导致各方对何时创建和删除批次存在分歧。本次表决旨在解决“批次位置”状态模型中状态定义与状态转换表之间存在的矛盾。该标准将“未占用（UNOCCUPIED）”状态定义为不含任何基板，但状态转换表规定，只有当所有基板均已移入批次位置时，才允许转换至“占用（OCCUPIED）”状态。工作组在评估了三项相互竞争的提案后，就解决方案达成了共识。
由于存在一些轻微的技术错误以及需要进一步澄清，本次表决未获通过。在本轮表决中，关于批次所涉及的“形成”和“解散”这两个拟议术语，未引发任何争议。此外，该版本的表决要求必须移动基板才能形成批次。经讨论后，将删除这一要求，以便可以利用已位于批次位置的基板来形成批次。此项变更需要对表决文件全篇进行相应修改。 已创建投票稿 7345D 的新版本并发布，供工作组审查。
7428B号提案，该提案旨在规范安全HSMS通信，仍是当前正在推进的最重要工作之一，因为它为工厂系统与设备之间的通信加密提供了标准化方案。该提案定义了一个三阶段通信模型：
- TCP/IP
- TLS（传输层安全）
- HSMS-SS
该投票草案因包含两项超出预期范围的要求而未获通过，这些要求涉及证书管理，而该领域属于厂商管辖范围，并非本标准的制定意图。已编制了投票草案7428C的新版本，并发布供工作组审议。
DDA（诊断数据采集）工作组
DDA特别工作组正在继续推进EDA的“Freeze 3”版本工作，这是下一代半导体设备数据采集接口。Freeze 3基于现代gRPC技术，旨在提高互操作性并确保实现的一致性。
DDA 工作组正在继续基于 gRPC 技术，对 EDA/接口标准的 Freeze 3 版本进行最终定稿。在最近一个周期中，审查了两项表决：
- 投票案 7422B (E164) 未通过。由于“Freeze 3”依赖于E164，因此必须先通过该标准，才能宣布“Freeze 3”完成。工作组将对其进行修订并重新进行表决。 E30、E40 和 E87 的下级标准被纳入了主要的 E164 表决中，其中存在若干错误。这些错误导致整个表决未通过。我们预计可以在 7422C 号表决中修正这些问题，并使这些标准一同通过。
- 第7488号投票 已进入批准投票阶段，以进行最终的技术更新。该投票虽然从技术上涵盖了E120、E125、E132、E134和E179，但实际上仅包含与E125中参数建模相关的修改。
一位工作组成员根据实施反馈，要求对核心 EDA 标准再进行一些修改。这些修改将与 7422C 一起进行表决，希望借此完成 EDA 第 3 次冻结。
CDS（制造与设备、计算机及设备安全）特别工作组
该工作组提交了 第7426号提案，该提案旨在对SEMI E191标准（计算设备网络安全状态报告）进行重大改进。当前的报告要求包括：
- E191-1024（当前版本）： ComputingDeviceIdentifier、OSManufacturer、OSName、OSVersion、OSBuild
- 7311A号投票单新增内容： OSInstalledUpdates、OSInstalledComponents
- GEM（SEMI E30）： MDLN（型号），SOFTREV（软件版本），EqSerialNum，E30EquipmentSupplier，EqpName
随着第7311A号提案更新内容的近期发布，第7426号提案的相关工作正在推进。该提案新增了以下内容：
- 已打开和已建立的端口及其关联进程的列表
- 正在运行的进程
- 本地用户帐户
- 防火墙状态
- 设备驱动程序版本
- BIOS 信息
这些新增功能将使工厂能够更清晰地掌握联网设备的网络安全状况，从而有助于支持资产管理、漏洞评估和合规计划。
尽管此次投票未获通过，且有几位投票者表现出犹豫，但大多数人似乎支持公布这些额外信息。甚至有几位投票者建议在投票中增加更多数据。该投票内容包括使用标准化的JSON模式文件报告网络安全信息——当无法使用GEM接口时，此方法非常有用。 该JSON文件采用前瞻性架构，通过通用名称/值数据格式，可在不修改架构的情况下支持报告更多数据（例如当E191进一步扩展时）。该表决案还提供了一项配置功能，可在共享网络安全数据违反IT政策时禁用特定类别的网络安全数据。
下一步
北美信息与控制委员会将采用：
- 第9轮 批准投票（2026年10月21日至11月20日）
- 第7轮 普通选票（提交截止日期：2027年2月1日星期一；投票时间：2027年2月11日至3月15日）
该委员会将在北美冬季SEMI标准会议上审查投票结果、裁定相关意见，并确定最终的投票处理方案。
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