EDA/인터페이스 A 적합성 및 성능 테스트를 위한 검증된 솔루션
EDATester란 무엇인가요?
Cimetrix EDATester는 반도체 제조 환경에서 SEMI 장비 데이터 수집(EDA/인터페이스 A) 표준 준수 여부를 검증하고 성능을 특성화하는 최고의 애플리케이션입니다. 이 검증된 테스트 플랫폼은 업계에서 인정받는 ISMI EDA 평가 방법의 실행을 자동화하여 일관되고 재현 가능한 결과를 제공함으로써 엔지니어링 노력과 장비 가동 중단 시간을 크게 줄여줍니다.
EDATester는 검증 프로세스를 간소화함으로써 "첫 시도에서 바로 성공하는" 인터페이스 승인 테스트를 보장하여, 장비 공급업체와 팹이 배포를 가속화하고 높은 수준의 연결성 및 상호운용성을 유지할 수 있도록 지원합니다.
EDATester는 EDA 프리즈 버전 1(1105)과 프리즈 버전 2(0710)를 모두 지원하여, 다양한 장비 세대와 구현 방식에 걸쳐 EDA 인터페이스 준수 여부를 검증하고 성능을 평가하는 데 있어 결정적인 솔루션입니다.
EDATester 데이터 시트 다운로드
장비 테스트의 주요 기능
자동화된 규정 준수 테스트
ISMI EDA 평가 방법 부록 A에 기술된 모든 절차에 대해 내장 테스트를 실행합니다. 여기에는 세션 프로토콜 설정, 메타데이터 관리, 데이터 수집 계획 정의 및 관리, 지속성 검사, 다중 클라이언트 평가 절차 등이 포함됩니다.