这是关于先进半导体物理学的深度解析系列节目的第三期,重点探讨机械应力如何影响7纳米FinFET器件中的晶体管性能。主持人探讨了研究人员如何利用TCAD仿真构建数字孪生,以理解布局几何形状为何会改变晶体管的行为。他们还解释了半导体研究中的保密挑战,以及预测模型如何弥合专有代工数据与学术研究之间的鸿沟。 讨论揭示,机械应力必须被理解为一个包含纵向、垂直和横向分量的三维张量。PMOS晶体管主要受硅锗区域产生的纵向应力支配,而NMOS器件则受到多方向力的相互作用,这些力可能相互抵消。 本期节目探讨了如何将复杂的量子物理模拟转化为实用的SPICE兼容紧凑模型,从而使电路设计人员能够在制造前优化布局。关于温度效应,一个引人入胜的发现浮出水面:在约100°C的高工作温度下,热振动可能压倒机械应力效应,从而可能根据工作负载和温度动态改变芯片的行为。