SEMI E192 标准简介
SEMI E192 是一个战略性指南,旨在帮助用户理解与 GEM(通用设备模型)技术相关的约 70 项 SEMI 标准。即使对于经验丰富的专业人士来说,确定何时以及如何实施每项标准也可能非常复杂。本指南通过将这些标准划分为逻辑类别,并提供实用的采纳建议,从而简化了实施过程。
SEMI E192 标准的目的
SEMI E192 的主要目标是为实施 SEMI E30 GEM 及相关标准提供一种结构化的方法。它根据设备类型、行业要求和实施条件对各项标准进行分类并提供指导。本指南分为以下几个部分:
- 核心 GEM 标准
涵盖了基础标准,包括协议替代方案、SECS-II 消息层 (SEMI E5)、GEM (SEMI E30) 以及 SECS-II 和 GEM 功能的实施指南。 - GEM 300 标准
定义了 GEM 300 合规性所需的一系列标准,这些标准常用于半导体制造环境。 - 其他 GEM 相关标准
包括补充标准,这些标准定义了 GEM 接口的额外状态模型、通知消息和数据元素。本指南明确了所有设备推荐采用的标准、应避免的标准以及应在特定条件下实施的其他标准。 - 特定设备模型 (SEM) 标准
针对特定设备类型量身定制的标准。例如,SEMI E88 推荐用于存储设备(stockers)。 - 行业特定标准
重点介绍了为高亮度 LED、印刷电路板 (PCB) 和光伏 (PV) 等行业开发的标准。这些标准在 GEM 的基础上增加了约束条件,从而简化了开发和工厂集成。 - 非活跃的基于 GEM 的标准
在五年内未进行更新、修订或重新确认的标准被视为非活跃标准。SEMI E192 不建议实施这些标准。
SEMI E192 标准为何对行业至关重要?
SEMI E192 对于从事 GEM 技术的新手和经验丰富的专业人士来说,都是一个至关重要的实施指南。它是唯一正式定义完整 GEM 300 标准集的 SEMI 标准,在一个原本复杂的环境中提供了清晰度和结构。此外,SEMI E192 是 SEMI 标准组合中唯一解释各种 GEM 相关标准如何相互关联的资源,使其成为有效和一致实施的不可或缺的参考。
支持 SEMI E192 的 PDF Solutions 产品
Cimetrix 提供多款专门设计用于实施 SEMI E30 并最大化其效益的产品:
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设备端
- Cimetrix CIMConnect: 为设备供应商提供 SECS/GEM 接口,实现与工厂主机的无缝通信。
- Cimetrix CIM300: 支持 300mm 晶圆厂的 GEM300 标准合规性,结合了 GEM、E87、E90 及其他标准。
- Cimetrix CIMControlFramework: 一个完整的设备自动化系统软件框架,旨在与 SEMI 标准无缝集成。
- Cimetrix EquipmentConnect: 一款功能强大的软件工具包,专为无缝实施 SEMI GEM、GEM300 和 EDA/Interface A 标准而设计
工厂端
- Sapience Data Platform: 一款支持 SEMI 标准的主机端解决方案,可实现高效的工厂主机操作。
- Cimetrix HostConnect: 一个增强型软件库,用于使用通过 HSMS 的 SECS-II 消息传输来创建主机应用程序。
- Cimetrix SECSConnect: 一个用于使用通过 SECS-I 或 HSMS 的 SECS-II 消息传输来创建应用程序的库。
测试
- Cimetrix EquipmentTest: 一个全面的 SECS/GEM 测试解决方案,旨在验证设备接口是否符合 SEMI 标准,并简化与工厂主机系统的集成。