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CIMPortal Plus 產品規格表

Cimetrix® CIMPortal Plus 軟體工具包為設備製造商提供一套全面的設備資料擷取(EDA)解決方案。此外,CIMPortal Plus 軟體亦可供正在對現有設備進行升級改造的整合式裝置製造商(IDM)使用。

CIMPortal Plus 支援最新的 SEMI E164《EDA 通用元資料規範》。E164 標準的制定,旨在鼓勵使用 Interface A 連接的公司,依據 SEMI E125《設備自描述規範》,以更通用的方式呈現設備元資料。 開發人員可使用「元數據符合性分析器」(MCA)來驗證其所建立的設備模型。晶圓廠可利用所蒐集的 Interface A 資料,進行故障偵測與分類(FDC)、批次間控制、設備健康狀態監控、腔室/設備配對、預測性維護、虛擬量測、電子診斷,以及許多其他與設備相關的分析應用。

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