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標準

後端流程標準

標準

SEMI E157:模組與基板製程追蹤規範

GEM300

標準

SEMI E190 – 設備資料發布 (EDP)

其他設備與軟體相關

標準

SEMI E168 – 產品時間測量規範

生產力/指標

標準

SEMI E148 – 時間同步與 TS-Clock 物件

其他設備與軟體相關

標準

SEMI E134 – 資料蒐集管理

EDA/介面 A

標準

SEMI E121 – 半導體製造的 XML 格式與應用

EDA/介面 A

標準

SEMI E142 – 基板映射規範

可追溯性

標準

SEMI E94 – 控制工作管理規範

GEM300

標準

SEMI E87 – 載體管理(CMS)規範

GEM300

標準

SEMI E5 – SEMI 設備通訊標準 2 訊息內容規範 (SECS-II)

SECS/GEM

標準

SEMI E37 – 高速 SECS 訊息服務(HSMS)通用服務規範

SECS/GEM

標準

SEMI E30 – 《製造設備通訊與控制通用模型(GEM)》規範

SECS/GEM

標準類別

  • 可追溯性
  • SECS/GEM
  • 生產力/指標
  • 特定於流程
  • 其他設備與軟體相關
  • GEM300
  • EDA/介面 A
  • 網路安全

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