北美信息与控制委员会 2026年春季动态

背景

SEMI北美信息与控制委员会春季会议与“先进半导体制造会议”（ASMC）同期举行。ASMC是一场专注于提升半导体制造专业技能的国际顶级技术会议。本次活动在纽约州奥尔巴尼的希尔顿酒店举行。

与往常一样，前两天主要围绕各工作组会议展开，包括GEM 300、ABFI（先进后端工厂集成）、GUI、CDS（晶圆厂与设备计算机及设备安全）、DDA（诊断数据采集）以及数字孪生工作组，所有这些工作组均由PDF Solutions共同牵头。 第三天举行了委员会会议，与会成员主要依据各工作组的建议做出了最终决定。本摘要重点介绍了部分工作组会议及委员会会议中的关键进展。

所有经委员会批准的投票表仍需接受SEMI全球审计与审查委员会的最终审核。虽然这种情况很少见，但如果投票表未严格遵循SEMI的程序和规定，仍可能被否决。

工作组在提交提案投票表，以提议制定新标准或修改现有标准之前，其提交的SNARF（标准新活动报告表）必须获得技术委员会的批准。SEMI维护了一个内容全面的网站，其中包含有关全球委员会活动的详细信息：

🔗SEMI 标准制定

数字孪生工作组

该工作组正准备提交其首份提案，旨在界定数字孪生术语，并为半导体行业的数字孪生制定最低要求。随着工作的推进，该小组计划开发一个或多个用于与数字孪生交互的接口，尽管具体工作内容尚未确定，且计划在未来的阶段进行。

GEM 300 特别工作组

在特别工作组和委员会的会议上，成员们通过了第7447号提案，该提案旨在解决E40（流程作业管理）中一个众所周知的变量问题。

另一份编号为7427的投票提案建议对E172（SECS设备数据字典规范）进行更新：

• 第一项内容将“已知名称”字段限定为SEMI定义的名称，并引入了一个供自定义使用的新字段。该项已进入批准投票阶段，旨在纳入技术调整，以确保该自定义字段能够支持设备供应商与最终用户之间商定的任何用途。
• 第二项内容更新了设备特征矩阵，以便准确识别载波位置。该项已通过。

第7345B号提案（E90—基板追踪规范）因提案文件存在缺陷而未获通过。

一个批代表同时处理的一组基板。由于基板处理方法各不相同，导致在何时创建和删除批的问题上存在分歧。本次表决旨在解决两个问题：

1. 在“批次位置”状态模型中，状态定义与状态转换表之间存在矛盾。标准将“未占用（UNOCCUPIED）”状态定义为不包含任何基板，但状态转换表却规定，只有当所有基板都已移入批次位置时，才允许转换到“占用（OCCUPIED）”状态。
2. 工作组在评估了三份相互竞争的提案后，最终达成了一致意见。

该投票因一些细微的技术错误以及要求进一步澄清而未获通过。不过，更新后的版本相比之前的版本有了显著改进。工作组预计，除非出现新问题，否则下一次修订版将获得通过。

提案编号7428A旨在规范安全HSMS通信，仍是目前正在制定中影响最大的提案。该提案定义了一个三阶段通信模型：

1. TCP/IP
2. TLS（传输层安全）
3. HSMS-SS

该提案因一个微小的SEMI程序问题而未获通过。尽管如此，该小组在总体技术方向上达成了高度共识。不过，成员们仍在就具体实施细节展开讨论，包括规范是否应在TLS身份验证过程中强制要求特定的错误处理行为，而这些行为超出了RFC 8446的要求范围。

第7447号提案建议对一个广为人知的名称进行E40更新，并顺利通过，未引发争议。

该委员会批准了若干用于选票设计的新活动：

• 针对E5和 E30的拟议更新将改进报告生成和事件关联功能。目前，S1F23/S1F24 消息定义了数据变量与采集事件之间的关联，但主机软件可以将任意变量与任意事件进行关联。该提案引入了一项设置，要求设备在未关联的变量被错误关联时触发错误提示。此项更改将解决 GEM 接口中常见的一个问题。
• 第二项活动旨在阐明用于存储载体和转移基板的设备的内部缓冲区实现方式及端口使用情况。
• 第三项活动更正了E40中另一个众所周知的名称。

诊断数据采集（DDA）工作组

DDA 工作组正在继续完善基于 gRPC 技术的 EDA/Interface 标准 Freeze 3 版本。在最近一个周期中，审议了两项表决：

• 第7422号提案（E164）未获通过。由于Freeze 3依赖于E164，因此必须先通过该标准，才能宣布Freeze 3完成。工作组将对其进行修订并重新表决。主要挑战在于完成实现GEM 300功能的下级标准。
• 第7419A号提案已进入批准投票阶段，以进行最终的技术更新。该提案包含对E120、E125、E132、E134和E179标准的更新。若获批准，这些标准将成为EDA Freeze 3的核心内容。

CDS（工厂与设备计算机及设备安全）工作组

CDS工作组未对任何提案进行裁决。该小组仍在评估SEMI E188（设备网络安全）的未来走向，尤其是鉴于最终用户已撤回支持。

工作组审议了第7426号提案，该提案建议对SEMI E191（计算设备网络安全状况报告）进行重大改进。当前的报告要求包括：

• E191-1024（当前版本）：ComputingDeviceIdentifier、OSManufacturer、OSName、OSVersion、OSBuild
• 选票 7311A 的新增内容：OSInstalledUpdates、OSInstalledComponents
• GEM (SEMI E30)：MDLN、SOFTREV、EqSerialNum、E30EquipmentSupplier、EqpName

随着第7311A号提案的最新更新发布，第7426号提案的相关工作正在推进。该提案新增了以下内容：

• 已打开和已建立的端口及其关联进程列表
• 正在运行的进程
• 本地用户帐户
• 防火墙状态
• 设备驱动程序版本
• BIOS 信息

如果这些补充条款获得通过，将显著增强工厂评估设备系统网络安全风险的能力。不过，工作组仍需完善若干细节，且整体支持情况尚不明朗。

下一步行动

北美信息与控制委员会将使用：

• 批准投票第五轮（2026年6月2日至7月2日）
• 第7轮普通投票（提交截止日期：2026年7月31日；投票时间：2026年8月19日至9月18日）

该委员会将于2026年10月13日至15日举行的北美秋季SEMI标准会议上对这些选票进行评审，该会议将在旧金山莫斯康展览中心举行的SEMICON West展会期间举行。

作者简介：

SEMI 北美

区域标准委员会联合主席

信息与控制委员会联席主席

GEM 300 工作组组长

DDA 工作组组长

高级后端工厂集成工作组组长

制造业数字孪生工作组组长

如需了解有关 SEMI 标准的更多信息，请访问 PDF.com 上的“标准”栏目。