Cimetrix 产品(隶属于 PDF Solutions 产品组合)长期以来一直是半导体设备互联和工厂自动化领域的佼佼者。数十年来,这些产品始终助力设备制造商与工厂实现无缝沟通——既可靠高效,又严格遵循 SEMI 行业标准。从基础互联平台到现代化的全厂级解决方案,Cimetrix 产品以“即插即用”的软件著称,即使在全世界最严苛的生产环境中也能稳定运行。
CIMConnect:SECS/GEM 实施的黄金标准
许多工具集成的核心在于 CIMConnect,这是我们标志性的SECS/GEM软件产品。
在半导体行业,SECS-II(SEMI E5)和GEM(E30)等连接与控制标准是不可或缺的。设备必须能够与主机应用系统、MES平台及其他工厂自动化软件进行无缝通信。在此背景下,CIMConnect凭借其对标准的严格遵循、系统稳定性以及卓越性能,赢得了业界广泛认可。
它为什么这么棒?
- 成熟且经过生产验证的架构
- 严格遵守SEMI标准
- 全面支持 HSMS(基于以太网的 SECS-II – SEMI E37)
- 全面的日志记录和诊断
- 高性能消息处理
对于设备供应商而言,CIMConnect 能够降低成本并规避进度风险。工程团队无需重新开发标准协议栈,而是可以专注于工具功能和竞争差异化——因为他们确信,连接性已由业界信赖的软件负责处理。
CIM300:实现300毫米自动化
随着行业向300毫米晶圆厂转型,自动化需求急剧增加。正是在这种背景下 CIM300 应运而生。
CIM300 支持 GEM300 标准,例如:
- 承运商管理
- 基板追踪
- 进程作业管理
- 控制作业管理
300毫米工厂的运营由明确的自动化方案所规范,这些方案涉及多种连接标准的并行应用。 这些场景支持精准的批次交付与追踪;配方选择、验证及执行监控;每片晶圆在晶圆厂内长达三个多月生产周期的全程可追溯性;以及其他多项严格的自动化要求——所有这些均在几乎无需人工干预的情况下实现。CIM300为设备供应商提供了满足这些需求的结构化框架,使其无需从头构建复杂的互连状态机系统。
总而言之,CIM300 不仅仅是一个消息实现平台——它更是一个自动化加速器。
CIMPortal Plus:推动EDA/接口A领域的卓越发展
随着晶圆厂逐步转向数据驱动的工艺控制和高级分析,EDA/接口A已不再是可有可无的可选功能,而是成为了一项战略性需求。
CIMConnect 和 CIM300 侧重于传统的 SECS/GEM 和 GEM300 连接, CIMPortal Plus 则通过 SEMI EDA(设备数据采集)标准套件(E120、E125、E132、E134、E164)——通常也被称为 Interface A——在高级数据集成中发挥着关键作用。
与传统的 SECS/GEM 消息传递相比,EDA/Interface A 通过利用设备元数据模型元素定义、结构化参数、基于多客户端 Web 服务的网络架构以及强大的基于订阅的数据采集功能,引入了一种更加丰富且更具可扩展性的数据采集范式。CIMPortal Plus 旨在全面支持这一先进功能,使晶圆厂能够以标准化且可扩展的方式访问海量、高密度的情境化设备数据。
借助 CIMPortal Plus,制造商可以:
- 自信地实施 SEMI EDA/Interface A 标准
- 公开结构化设备元数据模型
- 支持灵活的数据收集方案
- 提供高吞吐量的订阅式数据流
- 简化客户验证和验收测试
随着晶圆厂对设备和工艺性能的深度可视化、单设备可追溯性、诊断以及预测性分析的需求日益增长,EDA 合规性已不再是可选项,而是必备条件。CIMPortal Plus 能够帮助设备供应商高效满足这些需求,在降低集成摩擦的同时,提升其设备在先进制造环境中的价值。
CIMControlFramework:设备控制的坚实基础
现代半导体设备既是机械系统,也是软件系统。 CIMControlFramework (CCF) 针对这一现实,CCF 提供了一个用于设备控制软件的模块化、结构化框架。通过将常见的设备行为抽象为可重用的框架,CCF 显著降低了工程风险和长期维护成本。
CCF 助力开发团队:
- 确保工具行为的一致性
- 大幅减少物料搬运及其他非生产环节所需的工作量
- 提高可维护性和可测试性
- 降低总体支持成本,特别是在涉及多条产品线的情况下
对于拥有多个模块、装载端口和工艺腔室的复杂设备而言,一致性至关重要。CCF 为团队提供了一种能够随着设备演进而灵活扩展的架构。
设备测试——确保符合GEM标准
现代设备开发要求更早进行验证。EquipmentTest 的主机仿真功能和测试工具使设备供应商能够:
- 在工厂安装或客户验收测试之前,尽早验证 GEM/GEM300 的运行状况
- 模拟主机交互
- 执行回归测试
- 加快晶圆厂验收
这有助于减少后期集成阶段的意外情况,并缩短产品上市时间。
EDATester:加速 EDA/接口验证
随着工厂越来越多地采用 EDA(设备数据采集)标准,验证和性能测试流程也变得日益复杂。 EDATester 提供了一种强大的解决方案,可在设备进入晶圆厂之前,验证其是否符合 SEMI EDA 标准。
借助 EDATester,设备供应商可以
- 验证EDA元数据模型
- 测试数据收集计划
- 模拟客户端交互
- 在开发初期识别合规问题
- 将上述大部分内容实现自动化!
EDA 系统的实施往往相当复杂,涉及 XML 模型、Web 服务和结构化数据定义。EDATester 通过提供一个受控且符合标准的测试环境,有效降低了不确定性。其结果是客户验收速度更快、集成过程中的意外情况更少,并对高级数据功能更有信心。
前途光明
半导体行业正在不断演进——先进工艺节点、异构集成、智能化工厂以及日益自动化的运营。随着工厂不断追求更高的效率、透明度和智能化水平,对强大且符合行业标准的连接软件的需求也将与日俱增。敬请关注我们后续发布的博客文章,我们将重点介绍为应对这些新趋势而推出的全新产品组合!