공정 제어

강력하고 효율적인 팹 중심 모델

PDF 솔루션은 팹 모델링에 대한 독보적인 탑다운 접근 방식을 보유하고 있습니다. 당사의 팹 중심 공정 제어 접근 방식은 DEX(데이터 교환 네트워크)를 통해 자동으로 수집 및 통합되는 프런트엔드 및 백엔드 데이터를 활용하여 강력한 시그니처 분석 및 진단을 제공합니다. 이 접근 방식은 "공구별" 분산형 배포 대비 보다 효율적인 배포를 가능하게 하며, 공구 및 공장 수준에서의 의사 결정 및 제어를 지원합니다.

주행 진단 및 가변성 제어

FDC 도구 센서 레벨 진단을 통한 이탈 이벤트 자동 감지 및 드릴다운 기능으로 공정 및 계측 시프트, 파라메트릭 드리프트, 예방 정비 및 소모품 이벤트 감지 수행.

변동성 감소

고급 진단을 통한 단일 단계 파라미터 스크리닝으로 수율, 소자 파라메트릭스 및 계측을 위한 도구 제어(동적 SPC)에 대한 응답 상관관계를 피드백으로 유도

공정 제어의 주요 내용 요약

• 기존 FDC 기능
• 기존 센서 수집기를 사용하거나 당사 제품을 사용하십시오
• 오프라인 모델 생성 및 시뮬레이션
• 구성 버전 관리
• 실시간 대화형 보고
• OCAP(통제 불능 행동 계획) 경보
• 온라인 SPC
• 승인 루프
• 요약 및 실시간 FDC 데이터 결합

Exensio 시각화 Spotfire® 기반