过程控制

强大高效的晶圆厂中心化模式

PDF Solutions采用独特的自上而下晶圆厂建模方法。我们以晶圆厂为核心的工艺控制方案，通过数据交换网络（DEX）自动采集并整合前端与后端数据，提供强大的特征分析与诊断功能。相较于"按设备"的分散部署模式，该方案能实现更高效的部署，并在设备与工厂层面实现决策与控制。

巡航诊断与可变性控制

利用FDC工具传感器级诊断功能自动检测偏移事件，并通过深入分析执行工艺与计量学偏移、参数漂移、预防性维护及耗材事件检测。

变异性降低

采用先进诊断技术的一步式参数筛选，驱动响应相关性反馈至工具控制（动态SPC），以提升良率、器件参数及计量精度

过程控制速览

• 传统FDC功能
• 使用您现有的传感器收集器，或使用我们的
• 离线模型创建与仿真
• 配置版本控制
• 实时交互式报告
• 失控行动计划（OCAP）警报
• 在线SPC
• 批准循环
• 合并摘要与实时FDC数据

Exensio 可视化，由 Spotfire® 提供支持