プロセス制御

強力で効率的なファブ中心モデル

PDFソリューションズは、ファブモデリングにおいて独自のトップダウンアプローチを採用しています。当社のファブ中心のプロセス制御アプローチは、フロントエンドとバックエンドの両方のデータを活用し、DEX（データ交換ネットワーク）を介して自動的に収集・統合されることで、強力なシグネチャ分析と診断を提供します。このアプローチにより、「ツール単位」の分散型導入と比較して効率的な導入が可能となり、ツールレベルおよび工場レベルでの意思決定と制御を実現します。

遠隔診断と変動制御

FDCツールセンサーレベル診断による逸脱事象の自動検出とドリルダウン機能により、プロセス・計測シフト、パラメトリックドリフト、予防保全、消耗品イベント検出を実行。

変動性の低減

高度な診断機能によるワンステップパラメータスクリーニングで応答相関を駆動し、フィードバックをツール制御へ反映（動的SPC）—歩留まり、デバイスパラメトリクス、計測技術向け

プロセス制御の主な特徴

• 従来型FDC機能
• 既存のセンサーコレクターをご利用いただくか、当社のものをご利用ください
• オフラインモデルの作成とシミュレーション
• 構成のバージョン管理
• リアルタイム対話型レポート作成
• OCAP（制御不能時対応計画）警報
• オンラインSPC
• 承認ループ
• 要約データとリアルタイムFDCデータを統合する

エクセンシオの可視化ソリューションSpotfire® 搭載