Cimetrix® 產品(隸屬於 PDF Solutions 產品組合)長期以來一直是半導體設備連接與工廠自動化領域的佼佼者。數十年來,這些產品始終協助設備製造商與工廠實現無縫溝通——既可靠、高效,又嚴格遵循 SEMI 產業標準。從基礎連接平台到現代化的全廠解決方案,Cimetrix 產品以在全世界最嚴苛的生產環境中仍能「穩定運作」而聞名。
CIMConnect:SECS/GEM 實施的黃金標準
Cimetrix 是許多工具整合的核心 CIMConnect,這是我們的招牌SECS/GEM軟體產品。
在半導體產業中,諸如 SECS-II(SEMI E5)和 GEM(E30)等連通性與控制標準是不可或缺的。設備必須能與主機應用系統、MES 平台及其他工廠自動化軟體無縫通訊。在此背景下,CIMConnect 憑藉其對標準的嚴格遵循、系統穩定性及卓越效能,建立了良好的聲譽。
它之所以出色,是因為什麼?
- 成熟且經實務驗證的架構
- 嚴格遵循 SEMI 標準
- 全面支援 HSMS(基於乙太網路的 SECS-II – SEMI E37)
- 詳盡的日誌記錄與診斷
- 高效能訊息處理
對於設備供應商而言,CIMConnect 能降低成本與進度風險。工程團隊無需重新開發標準通訊協定堆疊,而是能專注於工具功能與競爭優勢的打造——並確信連線功能已由業界信賴的軟體妥善處理。
CIM300:實現 300mm 自動化
隨著產業轉型至 300 公釐晶圓廠,自動化需求大幅增加。這正是 Cimetrix CIM300 應運而生。
CIM300 支援 GEM300 標準,例如:
- 承運商管理
- 基板追蹤
- 程序工作管理
- 工作管理控制
300mm 工廠的運作受明確的自動化情境所規範,其中同時涉及多種連線標準。 這些情境支援精準的批次交付與追蹤;製程配方選取、驗證及執行監控;每片晶圓在晶圓廠內長達 3 個月以上生產週期的完整可追溯性;以及其他多項嚴格的自動化要求——所有這些皆僅需極少或完全無需人工介入。CIM300 提供設備供應商所需的結構化框架,使其無需從頭建構一系列複雜且相互連結的狀態機,即可滿足這些需求。
總而言之,CIM300 不僅僅是一個訊息實作平台——它更是一項自動化加速器。
CIMPortal Plus:推動 EDA/介面 A 的卓越發展
隨著晶圓廠逐步邁向以數據為導向的製程控制與進階分析,EDA/介面 A 已成為一項戰略性需求,而非僅是可有可無的選配功能。
相較於 CIMConnect 和 CIM300 主要著重於傳統的 SECS/GEM 及 GEM300 連線功能,Cimetrix CIMPortal Plus 則透過 SEMI EDA(設備資料擷取)標準套件(E120、E125、E132、E134、E164)——亦通稱「介面 A」——在先進資料整合領域中扮演關鍵角色。
EDA/Interface A 透過運用設備元數據模型元素定義、結構化參數、基於多客戶端 Web 服務的網路架構,以及強大的訂閱式資料收集機制,引入了一種比傳統 SECS/GEM 訊息傳遞更為豐富且更具可擴展性的資料收集範式。CIMPortal Plus 旨在全面支援這項先進功能,使晶圓廠能夠以標準化且可擴展的方式,存取大量、高密度且具情境關聯性的設備資料。
透過 CIMPortal Plus,製造商可以:
- 自信地實施 SEMI EDA/Interface A 標準
- 公開結構化的設備元資料模型
- 支援彈性的資料蒐集方案
- 提供高吞吐量、基於訂閱制的数据流
- 簡化客戶驗證與驗收測試
隨著晶圓廠對設備與製程效能的深度可視化、單一裝置可追溯性、診斷功能及預測性分析的需求日益增加,EDA 合規性已不再是可選項——而是必備條件。CIMPortal Plus 協助設備供應商高效滿足這些期望,在降低整合阻力的同時,提升其設備在先進製造環境中的價值。
CIMControlFramework:設備控制的堅實基礎
現代半導體設備不僅是機械系統,同時也是軟體系統。Cimetrix CIMControlFramework (CCF) 正因應此現實,為設備控制軟體提供了一個模組化且結構化的框架。透過將常見的設備行為抽象化為可重複使用的框架,CCF 顯著降低了工程風險與長期維護成本。
CCF 協助開發團隊:
- 實現工具行為的一致性
- 大幅減少物料搬運及其他非製程作業所需的勞力
- 提升可維護性與可測試性
- 降低整體支援成本,特別是在涉及多條產品線的情況下
在具備多個模組、裝載端口及處理腔室的複雜設備中,一致性至關重要。CCF 為團隊提供了一種能隨著設備演進而擴展的架構。
設備測試 – 確保符合 GEM 規範
現代設備的開發需要更早進行驗證。CimetrixEquipmentTest 的主機模擬功能與測試工具,可讓設備供應商:
- 在工廠安裝或客戶驗收測試之前,就對 GEM/GEM300 的運作行為進行驗證
- 模擬宿主與病原體的相互作用
- 執行回歸測試
- 加快晶圓廠驗收進度
這有助於減少後期整合階段的意外狀況,並縮短產品上市時間。
EDATester:加速 EDA/介面 A 驗證
隨著工廠日益廣泛採用 EDA(設備資料擷取)標準,驗證與效能測試流程也變得愈發複雜。Cimetrix EDATester 提供了一套強大的解決方案,可在設備進入晶圓廠生產線之前,驗證其是否符合 SEMI EDA 標準。
透過 EDATester,設備供應商可以
- 驗證 EDA 元資料模型
- 測試資料蒐集計畫
- 模擬與客戶的互動
- 在開發初期即識別合規問題
- 將上述大部分內容自動化!
EDA 的實作往往相當複雜,涉及 XML 模型、網路服務及結構化資料定義。EDATester 透過提供一個受控且符合標準的測試環境,有效降低不確定性。其結果是能加快客戶驗收速度、減少整合過程中的意外狀況,並增強對進階資料功能的信心。
前途光明
半導體產業持續演進——先進製程節點、異質整合、智慧工廠,以及日益自動化的營運模式。隨著工廠致力提升效率、可視性與智慧化程度,對堅實且符合標準的連線軟體的需求只會與日俱增。敬請持續關注我們接下來的部落格文章,我們將介紹一系列嶄新的產品組合,以因應這些新趨勢!