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什麼是 GEM 控制狀態?
GEM 控制狀態是 E30 GEM 的基本要求之一。它定義了主機與設備之間的協作層級,並規範了操作員在主機控制的不同層級上可進行的互動方式。
在半導體工廠中,主機或操作員可能負責控制設備的處理流程。若雙方同時控制設備,將會引發問題。當一方控制設備時,應限制另一方可執行的操作。例如,若操作員暫停處理流程,則不應允許主機發出命令以恢復處理或啟動新工作。GEM 控制狀態的設計目的,正是為了防止此類問題發生。
圖 1:SEMI E30 GEM 控制狀態模型
「控制狀態」是如何運作的?
「控制狀態」提供三種基本的控制層級。每個層級皆說明主機端與設備端可執行的操作。
遠端
- 主機可對設備進行最大限度的控制。
- 該設備可能會對當地操作員控制設備的能力造成限制,但這並非該標準的要求。主機必須能夠處理操作員在設備上發出的意外指令。
- 主機會使用 GEM 遠端指令來對設備發出指令。
本地
- 操作員應盡可能充分地操控該設備。
- 主機擁有對資訊的完全存取權限。主機可利用 GEM 的其他功能(例如資料收集事件、追蹤及狀態資料收集)來收集資料。
- 對主機影響設備運作的方式設有以下限制:
- 禁止發出會啟動處理程序(例如 START)或導致物理動作的遠端指令。在處理過程中,亦禁止發出會影響處理程序的遠端指令(例如 STOP、ABORT、PAUSE、RESUME)。
- 其他不會觸發處理、引發物理移動或影響處理的遠端指令,則可能被允許。
- 在處理過程中,主機不得修改任何會影響該處理程序的設備常數。
- 不影響目前正在執行的程序的設備常數,可以進行變更。
- 在未進行處理時,所有設備常數均可變更。
離線
- 操作員可完全掌控該設備。
- 主機無法控制設備的運作,且資訊蒐集能力極為有限。
- 該設備僅會接受主機傳送的以下訊息:
- 用於建立 GEM 通訊的訊息(S1F13/F14)。
- 請求啟用「線上控制狀態」(S1F17),但僅限於當前有效狀態為「主機離線」(控制狀態模型中的轉換 #11)時。
- S1F2 嘗試上網時出現的「Are You There Response」。
- 該設備可能傳送給主機的主要訊息僅有以下幾種:
- 用於建立通訊的訊息 (S1F13)。
- S9Fx 訊息,但僅限於設備在離線狀態下通常會回應的訊息(即 S1F13 和 S1F17)。
- S1F1 當進入「嘗試連線」子狀態時,會向主機發送「Are You There Request」訊息。此訊息用於向主機請求許可,以便轉入「線上」狀態(轉變 #5)。
- 在離線狀態下,不會將任何訊息暫存。
「控制狀態模型」的設計旨在讓設備操作員對狀態機擁有比主機更大的控制權。此設計可保護操作員免受由主機觸發的意外狀態變更所影響。
- 設備操作員可透過操作介面選擇要啟用的「線上」子狀態。主機端無法選擇要啟用的「線上」子狀態。
- 設備端可將「控制狀態模型」置於「設備離線」狀態(轉換 #6)。處於此狀態時,主機無法請求切換至「線上」狀態。
- 主機端可將控制狀態轉為「主機離線」狀態(轉換 #10),但設備端可能會拒絕此請求。當處於「主機離線」狀態時,設備端可隨時嘗試轉為「在線」狀態,方法是先轉入「設備離線」狀態(轉換 #12),接著嘗試轉為「在線」狀態(轉換 #3)。
操作員介面需求
該設備必須具備顯示當前「控制狀態」的功能,以便操作人員知悉由誰在控制該設備。
該設備必須配備一個瞬時開關,用以觸發切換至「設備離線」狀態;另需配備另一個開關,用以嘗試從「設備離線」狀態切換回「在線」狀態。此開關可以是前面板上的硬體開關,但通常是透過軟體中的按鈕控制來實現的。
該設備必須配備一個離散式兩位元開關,供操作員用以指定所需的「線上」子狀態(本地或遠端)。此開關可以是前面板上的硬體開關,但通常透過軟體中的按鈕控制來實現。若以軟體方式實現,該設定必須儲存於非揮發性儲存裝置中。
條件狀態轉換
在「控制狀態模型」中,狀態轉換 #1、#2、#4 及 #7 屬於條件狀態轉換。設備應用程式必須提供一種方式,用以設定應轉換至哪個狀態。這些設定可使用設備常數來進行。
條件轉移 #1 和 #2 決定了控制狀態模型在啟動時的初始狀態。控制這些轉移的配置可設定為以下任一狀態:
- 線上
- 設備離線
- 線上嘗試
- 主機離線
條件式轉換 #4 用於決定在設備嘗試進入「線上」狀態失敗後,應轉換至哪個狀態。此設定可設定為以下任一狀態:
- 設備離線
- 主機離線
條件轉換 #7 用於決定當控制狀態轉為「線上」時,應啟用哪個「線上」子狀態(本地或遠端)。此設定可設定為以下任一「線上」子狀態:
- 本地
- 遠端
哪些訊息用於控制狀態?
| 訊息編號 |
方向 |
說明 |
| S1F1 | Host <- Equipment | 當設備嘗試連線(處於「嘗試連線」狀態)時,會向主機傳送此訊息。主機會透過傳送 S1F2 回覆訊息來授予權限。主機可透過傳送 S1F0 來拒絕權限,或讓訊息交易超時。 |
| S1F15 | 主機 → 設備 | 主機傳送此訊息,以請求從「主機離線」轉為「線上」(轉換 #11)。 |
| S1F17 | 主機 → 設備 | 主機傳送此訊息,以請求從「線上」狀態轉換為「主機離線」狀態(轉換 #10)。 |