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大學奈米製造廠的資料分析：推動創新並促進從實驗室到製造廠的技術轉移 – 下載
這場由加州大學聖塔芭芭拉分校（UCSB）的布萊恩・蒂博（Brian Thibeault）主講的簡報，詳述了在開放式奈米製造設施中戰略性實施製造數據分析的過程。簡報探討了 UCSB Nanofab 如何運用 PDF Solutions 的 Exensio 平台，從被動式維護轉型為主動式統計製程控制（SPC），藉此應對高產品多樣性研發環境中固有的挑戰。 本文件提供了關於 SiO₂ 和 InP 蝕刻的具體技術案例研究，闡明相關性數據分析、異常值檢測及設備配對如何顯著提升製程重現性，並促進從實驗室到晶圓廠的高效技術轉移。
下載完整的簡報，以了解用於優化奈米製造廠效能的技術數據與運作方法
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