HSMS(即高速 SECS 訊息服務)是一種訊息傳輸協定,廣泛應用於半導體及其他產業,用於連接工廠內的設備、控制設備以及從設備中蒐集資料。HSMS 讓各家獨立製造商能夠開發相容的實作方案,使這些方案能夠相互連接並進行互通,而無需彼此具備特定的技術知識。
SEMI 於 1990 年代中期將 HSMS 定義為老舊 SECS-I 協定的替代方案,後者採用速度明顯較慢且功能較為有限的 RS-232 硬體。
HSMS 與 SECS-I 的比較:
- 傳輸速率——HSMS 採用 TCP/IP 與乙太網路,最高傳輸速率可達 1000 Mb/s(隨著技術進步,速率還可能更高);而 SECS-I 則受限於 9600 b/s,當裝置間的連接距離增加時,傳輸速率甚至會更低。
- 距離——RS-232 纜線的長度通常限制在 1000 英尺以內,而乙太網路若搭配網路集線器等附加裝置使用,則沒有距離限制。
- 連線能力 – RS-232 是一種點對點連接,每台設備都必須具備可用的硬體埠。在工廠中,一台GEM 主機必須連接數百台設備,且每台設備都必須擁有獨立的專用 RS-232 埠。透過 HSMS,一台僅配備單一網路介面卡的電腦即可連接數百台設備。
所有現代半導體工廠均採用 HSMS,作為工廠主機系統用以連接、監控及控制各台設備的手段。