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動的構成

機器の種類やファミリー全体に対応できるよう、簡単に設定を変更できます。CIM300の動的な柔軟性により、複雑さを増すことなく複数のシステム間で拡張性と適応性を確保します。

CIM300を動的に設定し、機器のバリエーションや機器ファミリー全体を容易にサポートします。複雑さを増すことなく、システム全体で拡張・適応が可能です。

簡略化されたAPIフレームワーク

キャリア検証やスロットマップ検証を含む複雑な製造シナリオが、わずか数回のAPI呼び出しに簡素化されます。このフレームワークは貴重なエンジニアリング時間を節約し、統合時のエラー発生率を低減します。

キャリアやスロットマップ検証といった複雑な製造シナリオを、わずか数回のAPI呼び出しで実装します。このフレームワークはエンジニアリング時間を節約し、統合エラーを最小限に抑えます。

モジュラーGEM300規格実装

CIM300では、GEM300規格をフルスイートとして、または個別に実装できます。例えば、E87(キャリア管理)なしでE90(基板追跡)を、あるいはE94(制御ジョブ)なしでE40(プロセスジョブ)を実行可能であり、バックエンド工程において比類のない柔軟性を提供します。

GEM300規格を完全な統合スイートとして導入するか、必要なコンポーネントのみを選択的に実装できます。CIM300のモジュール式アーキテクチャにより、E87(キャリア管理)なしでE90(基板追跡)機能を、あるいはE94(制御ジョブ)なしでE40(プロセスジョブ)機能を有効化可能。これにより、特定の運用要件に合わせてソリューションを柔軟にカスタマイズできます。

製品の信頼性と成熟度

CIM300は、SEMI SECS/GEM規格準拠の信頼できるリーダーであるCimetrix CIMConnectを基盤として構築され、世界中の全ての300mmファブで採用されている複数の統合機能をサポートする堅牢かつ成熟したソリューションを提供します。

Cimetrix CIMConnectを基盤とした堅牢で実績あるソリューションをご活用ください。CIM300は、SEMI SECS/GEM規格準拠において、世界中の300mmファブで信頼されています。

仕様

  • 対応規格:
    • SEMI E5
    • SEMI E30
    • SEMI E37
    • SEMI E39
    • SEMI E40
    • SEMI E87
    • SEMI E90
    • SEMI E94
    • SEMI E116
    • SEMI E148
    • SEMI E157
  • プログラミング統合:C++、C#、VB.NETで記述されたアプリケーションをサポートします
  • 組み込みテストツール:Cimetrix EquipmentTest Pro GEM300のライセンスがCIM300 SDKに付属し、手動および自動の適合性テストを容易にします。
  • 互換性:Windowsシステムと完全互換であり、様々なファブ固有のシナリオに対応可能です。
  • 最低限の仕様:
    • メモリ: 4 GB RAM (32ビットOS) または 8 GB RAM (64ビットOS)
    • ハードドライブの空き容量:
      • アプリケーションのインストールには100MBが必要です
      • ログおよび診断ファイル用に予約された追加の250 GBのスペース
      • 従来のハードドライブ(SSD以外)では、パフォーマンス上の理由から、展開されたソフトウェアと予約されたログファイル領域がハードドライブ容量の50%を超えないようにドライブサイズを設定してください。ドライブの容量が埋まるにつれて、ハードドライブのパフォーマンスは大幅に低下します。
    • プロセッサ:Intel i5 または i7 クアッドコア CPU または同等のもの
    • オペレーティングシステム: Cimetrixは 、64ビット版のオペレーティングシステム(例: Windows 7 64ビット版、Windows 7 32ビット版ではない)の使用を強く推奨します。
    • プロトコル: TCP/IP

サポート

当社のソリューションには、円滑な開発プロセスを保証するためのトレーニング、サンプルアプリケーション、詳細なドキュメントが含まれます。エンジニアはCimetrixを信頼できます。

よくあるご質問

  1. 「GEM300」の一部とみなされるSEMI規格はどれですか?
    GEM 300インターフェースは、少なくとも以下のSEMI規格に準拠する必要があります:E5、E30、E37、E39、E40、E87、E90、E94。
    CimetrixはCIM300に以下のSEMI規格も含まれています:E116、E157
  2. GEM300規格の主な特徴は何ですか?
    GEM300規格は、当初フル300mmファクトリーオートメーションを支援するために定義されたSEMI規格群です。これらの規格は、データ変数、ステータス変数、アラーム、装置定数を含む収集イベントなど、GEM規格で定義されたデータ収集技術に基づいています。GEM300規格群は、標準化された基板追跡、キャリア管理、ジョブ管理、装置性能追跡、プロセスモジュール追跡を追加します。
  3. GEM 300規格は300mm工場に限定されますか?
    いいえ。300mmウェーハ工場では製造装置の100%がGEM300規格を実装する必要がありますが、いずれの規格もウェーハのサイズに言及していません。これらの規格は300mmウェーハや前工程製造に限定されるものではありません。 これらの規格には最近いくつかの変更が加えられ、パッケージング・アセンブリ・テスト装置など、ウェハー以外の基板を使用する半導体バックエンド工程での採用が可能になりました。
  4. CIM300が他社ソリューションと異なる点は?
    CIM300は高い柔軟性を備え、GEM300規格の部分的な実装を可能にします。豊富なAPI群により、最も複雑な製造シナリオも簡素化され、開発時間とコストを大幅に削減します。
  5. 統合プロセスにおいてエンジニア向けにどのようなサポートが提供されますか?
    当社は、統合プロセス全体を通じてお客様のチームを支援するため、詳細なトレーニングセッション、統合サービス、サンプルアプリケーション、および現地サービスとサポートエンジニアからなるグローバルネットワークを提供しています。
  6. CIM300は ファブや装置タイプをまたいで互換性がありますか
    はい、CIM300はすべての300mmファブで実装され信頼されており、幅広い装置タイプをサポートしています。これにより、様々な工場ニーズに対して高い拡張性と信頼性を実現しています。
  7. 既存のアプリケーションでCIM300を使用できますか?
    もちろんです。CIM300は、既存アプリケーションのGEM300準拠を実現するのに最適です。