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進一步了解 CIM300
為了實現工廠自動化,300mm 半導體工廠要求設備供應商符合 SEMI GEM300 標準。這對設備供應商構成了一項挑戰:既要遵循不斷演進的標準,又要因應各晶圓廠的特定情境,同時還須滿足嚴苛的交貨期限。 Cimetrix® CIM300 是一款以物件為導向的軟體開發套件,提供靈活的軟體架構及一整套軟體模組,可支援 SEMI 標準 E39、E40、E87、E90、E94 及 E116。
CIM300 透過內建的 CIMConnect 產品,亦支援 GEM 標準 E4、E5、E30 及 E30。此產品將每項 SEMI 標準實作為獨立的軟體模組,並可選擇性地與其他模組建立關聯,從而實現極大的靈活性。客戶可單獨購買這些組件,或一併購買作為整合式產品。CIM300 包含 CIMConnect 及 EquipmentTest
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