背景
今年,SEMI 北美資訊與控制委員會的冬季會議改為純線上形式舉行,這是 SEMI 為提升參與度與便利性而進行的一項試驗。
一如往常,前兩天主要安排了各專案小組會議,包括 GEM 300、ABFI(先進後端工廠整合)、GUI、CDS(晶圓廠與設備的電腦及裝置安全)、DDA(診斷資料擷取),以及新成立的「數位孿生」專案小組,所有會議均由 PDF Solutions 共同主持。 同樣地,第三天則預留給委員會會議,通常會根據各專案小組的建議做出最終決策。本摘要重點彙整了部分專案小組會議及委員會會議中的關鍵進展。
請注意,所有經委員會核准的投票表單,均須經由 SEMI 全球審計與審查委員會進行最終審查。儘管在北美資訊與控制委員會中極為罕見,但若未嚴格遵循 SEMI 的程序與規定,投票表單仍可能被駁回。
工作小組在提交提案,建議制定新標準或修改現有標準之前,必須先將 SNARF(標準新活動報告表)提交技術委員會審核通過。
如需更詳細的資訊,SEMI 設有一個內容詳盡的網站,涵蓋全球委員會的各項活動:
新成立的數位孿生專責小組
該專案小組制定了一份 SNARF,旨在制定新的數位孿生標準,並計畫將其發佈以徵求意見及獲取批准。這份首份規格書將著重於確立清晰的數位孿生相關定義。其雄心勃勃的目標是在七月提交表決案,以供 SEMICON West 大會審議批准。最終,該專案小組計畫開發一個或多個用於與數位孿生互動的介面,但這項工作目前尚未明確規劃,預計將於未來某個時間點進行。
GEM 300 專案小組
在GEM 300專案小組(以及後續的委員會中),通過了兩項與修正 E116(設備性能追蹤)及 E90(基板追蹤)相關的已知變數問題有關的表決案。 表決案 7425 修改了部分 E116 狀態變數的已知名稱,以消除與資料變數之間的衝突。表決案 7345A 的第 2 項則修改了兩個收集事件的已知名稱,以確保與其他已知名稱的命名方式保持一致。由於 GEM 300 標準允許標準變數、收集事件和警報使用任意名稱及識別編號,因此已知名稱提供了從實作到標準的標準對應關係。 已知名稱應在 SEDD 檔案中報告,並將被 EDA(設備資料擷取)標準所採用。請注意,表決案中的各條目是獨立於該表決案中其他條目進行表決的。
投票案 7345A E90《基板追蹤規格》中的第 1 項因批次壽命所引發的爭議而未通過。所謂「批次」,是指將一組基板同時進行處理的情況。 針對將基板集中移送以供處理的方法眾多,導致各方對於批次應於何時建立及刪除存在分歧。本次表決旨在解決兩項問題。首先,批次位置(Batch Location)狀態模型中,狀態定義與轉換表之間存在明顯矛盾。 現行標準將「未佔用」(UNOCCUPIED)狀態定義為無基板,但轉移表卻僅允許在批次中所有基板均被移至批次位置時,才可轉移至「佔用」(OCCUPIED)狀態。各方均認同此矛盾需予解決,目前已提出三種解決方案。另一項問題在於,當基板移往批次位置時,若批次中的所有基板尚未全部抵達該位置,系統將不會回報任何收集事件。 對於批次設備而言,這意味著在此期間並未進行基板追蹤。該提案未能通過,是因為部分人士認為批次物件應在批次完成(所有基板均已到位)後才應存在;部分人士則認為即使尚未有任何基板到位,批次物件亦可存在;另有些人士則認為至少應有一片基板到位。這些觀點在技術上均無錯誤或缺乏依據,但技術解決方案僅能有一種。希望工作小組能就此達成共識。
目前在制定中最具影響力的提案是 7428 號,該提案旨在標準化安全的 HSMS 通訊。這是一項早該制定的規格。此提案的首個版本編寫得稍顯粗糙,旨在引發關於技術方案的爭議。該提案提出三階段建立通訊:
1. TCP/IP
2. TLS(傳輸層安全性)及
3. HSMS-SS。
儘管該投票因有效之技術原因(缺少憑證驗證細節)而未獲通過,但所有投票者均達成高度共識,認為總體而言這(導入 TLS)是正確的技術方案,我們只需敲定最終細節即可。沒有任何一位投票者對此基本方案提出異議。鑑於存在多種可行的技術方案,能達成此共識實屬一大勝利。
DDA(診斷資料擷取)專責小組
DDA 專案小組目前仍在使用 gRPC 開發 EDA 標準的 Freeze 3 版本。在最近一次的投票週期中,我們針對 Freeze 3 進行了兩次表決。
E164 投票案 7422 未獲通過。由於 Freeze 3 將在本次版本中納入 E164 標準,因此必須先通過該投票案,我們才能宣布 Freeze 3 版本。該投票案將由專案小組重新修訂,並再次進行表決。
第 7419 號表決案包含三項條目。第一項提案建議對 ID 與 GEM 介面進行新的對應映射。此表決案未獲通過,將予以終止。 所提議的解決方案非但未能如預期般精簡 EDA 設備模型,反而使其更加臃腫。第二項提案新增了「SecurityCertificateChanged」通知,以強化網路安全。此項提案已通過。第三項提案包含工作小組成員提出的各項變更。此項提案未獲通過,將重新擬定,並將納入該提案範圍內所提議的其他變更。
雖然我們已接近完成 EDA 第 3 次凍結,但在最理想的情況下,該版本可能要到 2026 年底才會發布。
ABFI(進階後端工廠整合)專案小組
ABFI 專案小組目前正在制定幾份投票案,但均未提交表決;因此並未進行投票裁決。今後,預計將推出一些與 SEMI E142 基板映射相關的投票案,以支援更多可追溯性應用情境。
CDS(製造與設備、電腦及裝置安全)專案小組
CDS 專案小組未對任何投票進行裁決。隨著對 SEMI E188 設備網路安全標準的支持度下降,該專案小組開始討論今後應如何處理此規格。所有選項均仍在考慮之中。
目前正在制定第 7426 號提案,旨在強化 SEMI E191 標準(即計算裝置網路安全狀態報告規範)。以下是透過 GEM 介面報告網路安全相關資料所需資料的明細。
- E191-1024(現行發布版本):ComputingDeviceIndentifier、OSManufacturer、OSName、OSVersion、OSBuild
- 選票 7311A 新增項目:OSInstalledUpdated、OSInstalledComponents
- GEM (SEM E30):MDLN、SOFTREV、EqSerialNum、E30EquipmentSupplier、EqpName
在選票 7311A 公布之前,選票 7426 將不會提交。新增內容的完整範圍尚未確定,但將包含更多設備電腦介面,以協助工廠評估網路安全風險。
下一步
北美資訊與控制委員會將採用 SEMI 第 4 輪投票週期進行下一輪投票。選票須於 2026 年 3 月 16 日(星期一)前提交至 SEMI。 投票期間為 2026 年 3 月 25 日至 4 月 24 日。這些選票將於 2026 年 5 月 11 日至 14 日在紐約州奧爾巴尼希爾頓酒店舉行的北美夏季 SEMI 標準會議上進行審議,該會議將與 ASMC(先進半導體製造會議)同期舉行。