背景
SEMI 北美資訊與控制委員會首次於鳳凰城會議中心舉行的 SEMICON West 展會期間召開會議。與往常一樣,會議採混合形式進行,讓與會者可選擇親臨現場或遠端參與。
前兩天專門用於各工作小組會議,包括 GEM 300、ABFI(先進後端工廠整合)、GUI、CDS(晶圓廠與設備的電腦及裝置安全)以及 DDA(診斷資料擷取),所有會議均由 Cimetrix 工作小組負責人主持。第三天則安排舉行委員會會議,會中通常依據各工作小組的建議做出最終決策。
本摘要重點概述了部分專案小組會議及委員會會議中的重要進展。
請注意,所有經委員會核准的投票表單,均須經由 SEMI 全球審計與審查委員會進行最終審查。儘管在北美資訊與控制委員會中此類情況較為罕見,但若未嚴格遵循 SEMI 的程序與規定,投票表單仍可能不被採納。
工作小組在提交提案,建議制定新標準或修改現有標準之前,必須先將 SNARF(標準新活動報告表)提交技術委員會審核通過。
如需更詳細的資訊,SEMI 設有一個內容詳盡的網站,涵蓋全球委員會的各項活動:
新成立的數位孿生專責小組
在本次會議中,成立了一個新的「製造業數位孿生」專案小組。此舉由密西根大學機械工程系副研究科學家詹姆斯·莫因(James Moyne)發起,他長期參與 SEMI 標準制定工作,並擔任資訊與控制委員會的共同負責人。這個新成立的專案小組將致力於制定與數位孿生相關的標準,例如建立管理數位孿生的框架。詹姆斯、布萊恩·魯鮑(Brian Rubow)以及其他幾位成員將共同領導該專案小組。 若您有興趣,歡迎加入此工作小組!
GEM 300 專案小組
在GEM 300專案小組(以及其後的委員會)中,通過了三項與解決E30、E40 及E87 相關的已知變數問題有關的表決案。針對修訂《GEM 及 GEM 相關標準之設備採用標準指南》(E192)的表決案雖未獲通過,但原因屬次要,可在下次表決案修訂時輕鬆修正。
旨在修訂《E90 基板追蹤規範》的第 7345 號表決案,因表決案中提出的技術方案引發爭議而未獲通過。該表決案旨在解決兩個問題。首先,批次位置狀態模型中的狀態定義與轉換表之間存在矛盾。 現行標準將「未佔用」(UNOCCUPIED)狀態定義為無基板,但轉換表卻僅允許在批次中的所有基板均移至批次位置後,才可轉換至「佔用」(OCCUPIED)狀態。 關於此問題必須解決這一點並無爭議,但目前已提出三種解決方案。另一個問題是,在將基板移至批次位置時,若批次中的所有基板尚未全部抵達該位置,則不會報告任何收集事件。對於批次設備而言,這意味著在此期間並未進行基板追蹤。
- 新增「裝載/卸載」收集事件,用以通報基材何時被裝入或從批次中卸出。此項提案已於表決中提出。
- 要求批次中的每個基板位置均須使用基板位置狀態模型進行建模。
- 修改批次位置狀態模型的轉換規則,並重新定義「佔用」(OCCUPIED)與「未佔用」(UNOCCUPIED)狀態的定義,使系統在一個或多個基板被移至批次位置時,即觸發收集事件。
每項提案都有其優缺點,需要權衡考量。專案小組將召開會議,進一步討論此事,並在重新提交投票案之前選定技術方向。
此外,還有兩項新的表決提案。其中一項較小的提案將修改 E116 中已知的名稱,以確保所有資料變數和狀態變數皆具有唯一名稱;另一項較大的新表決提案則將提出一種新的安全 HSMS 協定 E37.3,用以標準化 SECS 訊息通訊中 TLS(傳輸層安全性)的使用。 此舉將使 GEM 技術在僅需進行最小幅度的變更下,即可符合網路安全最佳實務規範。布萊恩(Brian)曾在 SEMICON West 的網路安全活動中,就此主題發表了一場海報展示。
DDA(診斷資料擷取)專責小組
DDA 專案小組目前仍在致力於運用 gRPC 技術開發 EDA 標準的 Freeze 3 版本。 在上一輪投票週期中,我們進行了兩項與 Freeze 3 相關的表決。E164 表決案 7178 未能通過。由於 Freeze 3 將在該版本中納入 E164 標準,因此必須先通過此表決案,我們才能宣布 Freeze 3 版本。此外,表決案 7178 已被廢止,並由涵蓋範圍更廣的新 SNARF 取代。下一輪表決將包含:
- 主要 E164 標準:建立 EDA 模型的要求與指引
- E164 的新子標準,分別針對 E30、E40 及 E87 GEM 300 標準各有一項,明確說明如何在 EDA 中建模各標準。
此外,在第三次表決中,第 7321B 號表決案獲得通過,內容包含對 E125 過濾功能的修改,以及針對所有 EDA 標準所進行的整體變更與修正。此表決案包含基於驗證多個獨立軟體供應商間 EDA 相容性而進行的 EDA 測試環節中所提出的變更。
此外,還有兩項新的表決提案。其中一項旨在對所有 EDA 標準進行最終版本的更新。此表決提案計畫至少包含以下內容:
- SEMI E125 – 支援多個 SECS 識別碼的元資料定義。本提案建議將 SECS 識別碼移至實例(參數、簡單事件及例外狀況)中,以便當存在多個參數時,它們能共用單一定義,而該實例則擁有唯一的 SECS 識別碼。我們討論的使用案例是當存在多個相同的溫度感測器時;此時,這些參數可以共用一個定義。
- SEMI E132 – 提議制定新的「安全憑證變更」通知訊息。
- SEMI E134 – 快取資料報告 – 當某個客戶端啟用已由另一客戶端啟用的 DCP 時,應提供更清晰的說明
另一項新舉措是更新 SEMI E178 標準,該標準中定義了 EDA Freeze 1 和 Freeze 2。啟動這項工作,是向各界傳達 EDA Freeze 3 版本即將完成的訊息。所謂「即將完成」,意指在最佳情況下,該版本可能會於 2026 年年中發布。
ABFI(進階後端工廠整合)專案小組
在 ABFI 專案小組中,一項旨在為E142 基質映射標準定義通用名稱的表決案未能通過。待原始表決案中的錯誤與遺漏修正後,該表決案應能在下一輪投票中獲得通過。此外,該表決案還計畫針對下級標準 E142.4 中關於「何時通報基質映射已準備就緒」的資料蒐集事件提供進一步說明。
CDS(製造與設備、電腦及裝置安全)專案小組
專責小組討論了網路安全標準 E187、E188 及 E191 的未來發展。標準E187與 E188 均針對設備供應商訂定了相關要求,以確保設備不含惡意軟體,並遵循網路安全最佳實務。這些標準約於 4 年前發布,這意味著其內容已近 5 年之久,兩者皆已過時。 隨著美國國家標準與技術研究院(NIST)放棄 SCAP 2.0 的計畫,預期 E188 將不會更新以採用現代實務,而是僅作為實施 SEMI E187 要求的指南與參考資源。今後,重點將放在 SEMI E187 的合規性上,這在實施最佳網路安全實務方面提供了更大的靈活性。 與此同時,在台灣(該標準的發源地)正進行著更新 SEMI E187 的相關工作。
此外,北美地區正展開一項新行動,旨在更新 SEMI E191 標準。目前 SEMI E191 的適用範圍仍較為狹窄,僅報告面向工廠的電腦之基本資訊,包括作業系統名稱、製造商、版本及建置編號。該標準將進行更新,以提供更多與網路安全評估相關的資訊。隨著新版標準草案的制定,具體細節目前仍刻意保持彈性。
此外,目前有一項計畫,旨在透過 gRPC 介面提供 SEMI E191 相關資訊。目前,這些資訊僅能透過設備的 GEM 介面取得。
下一步
北美資訊與控制委員會將採用 SEMI 第一投票週期進行下一輪投票。選票須於 2025 年 12 月 16 日(星期二)前送達 SEMI。這些選票將於 2026 年 2 月 23 日至 26 日舉行的北美冬季 SEMI 標準會議上進行審議。該會議將於加州米爾皮塔斯的 SEMI 總部舉行,或以完全線上形式進行。