背景
SEMI 北美資訊與控制委員會的春季會議,與「先進半導體製造會議」(ASMC)同期舉行;ASMC 是一場以提升半導體製造專業能力為核心的國際頂尖技術會議。該活動於紐約州奧爾巴尼的希爾頓飯店舉行。
一如往常,前兩天主要聚焦於各專案小組會議,包括GEM 300、ABFI(先進後端工廠整合)、GUI、CDS(晶圓廠與設備的電腦及裝置安全)、DDA(診斷資料擷取)以及數位孿生專案小組,所有會議均由 PDF Solutions 共同主持。 第三天舉行了委員會會議,與會成員主要依據各專案小組的建議做出最終決策。本摘要重點概述了部分專案小組會議及委員會會議中的關鍵進展。
所有經委員會核准的投票表單,仍須接受 SEMI 全球審計與審查委員會的最終審查。雖然情況罕見,但若未嚴格遵循 SEMI 的程序與規定,投票表單仍可能不獲通過。
工作小組在提交提案,建議制定新標準或修改現有標準之前,其填寫的 SNARF(標準新活動報告表)必須先獲得技術委員會的批准。SEMI 設有一個內容詳盡的網站,提供有關全球委員會活動的詳細資訊:
數位孿生專案小組
該專案小組正準備提交首份提案,用以定義「數位孿生」的術語,並為半導體產業中的數位孿生制定最低要求。長遠而言,該小組計畫開發一個或多個用於與數位孿生互動的介面,儘管這項工作目前尚未具體規劃,預計將於未來的階段進行。
GEM 300 專案小組
在專案小組及委員會的會議中,成員們通過了第 7447 號決議案,該決議案針對 E40(流程工作管理)中一個眾所周知的變數問題。
另一份投票案 7427 提議對 E172(SECS 設備資料字典規範)進行更新:
- 第一項條目將「已知名稱(Well-Known Name)」欄位限制為 SEMI 定義的名稱,並新增一個供自訂使用的欄位。該條目已進入核准表決階段,旨在納入技術調整,以確保此自訂欄位能支援設備供應商與終端使用者所協議的任何用途。
- 第二項內容更新了「設備特徵矩陣」,以便正確識別載體位置。此項已通過審核。
表決案 7345B(E90—基板追蹤規範)因表決案文件存在瑕疵而未獲通過。
批次代表一組同時處理的基板。由於基板處理方法各異,導致對於何時建立及刪除批次存在分歧。本次表決旨在解決以下兩個問題:
- 在「批次位置」狀態模型中,狀態定義與轉換表之間存在矛盾。該標準將「未佔用」(UNOCCUPIED)狀態定義為不含任何基質,然而轉換表卻規定,僅當所有基質均已移入批次位置時,才允許轉換至「佔用」(OCCUPIED)狀態。
- 專案小組在先前評估了三份相互競爭的提案後,就解決方案達成共識。
該投票案因輕微的技術性錯誤及要求進一步澄清而未獲通過。然而,更新後的版本相較於先前各版本已有顯著改善。工作小組預期,除非出現新問題,否則下一版修訂案應能通過。
提案編號 7428A 旨在標準化安全 HSMS 通訊,目前仍是開發中影響力最大的提案。該提案定義了一種三階段通訊模型:
- TCP/IP
- TLS(傳輸層安全性)
- HSMS-SS
該提案因一項輕微的 SEMI 程序問題而未獲通過。儘管如此,該小組仍就整體技術方向達成了強烈的共識。然而,成員們仍在就實施細節持續辯論,包括規格是否應在 RFC 8446 的要求之外,強制規定 TLS 驗證過程中的特定錯誤處理行為。
第 7447 號提案建議對一個廣為人知的名稱進行 E40 更新,並在未引發爭議的情況下獲得通過。
該委員會批准了幾項用於選票設計的新活動:
- 針對E5和 E30的更新提案將改善報告生成與事件關聯功能。目前,S1F23/S1F24 訊息定義了資料變數與收集事件之間的關聯,但主機軟體可將任何變數與任何事件進行關聯。該提案引入一項設定,要求設備在未關聯的變數被不當關聯時標記錯誤。此變更將解決 GEM 介面中常見的問題。
- 第二項活動闡明用於儲存載體及轉移基板的設備之內部緩衝區實作方式與連接埠使用方式。
- 第三項活動則更正了 E40 中另一個廣為人知的名稱。
DDA(診斷資料擷取)專責小組
DDA 專案小組正持續針對基於 gRPC 技術的 EDA/介面標準「Freeze 3」版本進行最後定稿。在最近一個週期中,共審查了兩項表決案:
- 第 7422 號表決案(E164)未獲通過。由於「Freeze 3」取決於 E164,因此必須先通過此標準,才能宣告「Freeze 3」完成。工作小組將對其進行修訂並重新表決。主要挑戰在於完成實現 GEM 300 功能的下位標準。
- 第 7419A 號提案已進入核准投票階段,以進行最後的技術更新。此提案包含對 E120、E125、E132、E134 及 E179 的更新。若獲核准,這些標準將構成 EDA Freeze 3 的核心。
CDS(製造與設備、電腦及裝置安全)專案小組
CDS 專案小組未對任何投票進行裁決。該小組持續評估 SEMI E188(設備網路安全)的未來走向,尤其是鑑於終端使用者已撤回支持。
專責小組審查了第 7426 號提案,該提案建議對SEMI E191(運算裝置網路安全狀態報告)進行重大改進。目前的報告要求包括:
- E191-1024(現行版本):ComputingDeviceIdentifier、OSManufacturer、OSName、OSVersion、OSBuild
- 選票 7311A 新增項目:OSInstalledUpdates、OSInstalledComponents
- GEM (SEMI E30):MDLN、SOFTREV、EqSerialNum、E30EquipmentSupplier、EqpName
隨著第 7311A 號提案的最新更新內容近期發布,第 7426 號提案的相關工作正持續推進。此提案新增以下內容:
- 已開啟及已建立的埠清單及其相關程序
- 正在執行的程序
- 本機使用者帳戶
- 防火牆狀態
- 裝置驅動程式版本
- BIOS 資訊
若這些新增內容獲得採納,將能顯著提升工廠評估設備系統網路安全風險的能力。然而,工作小組必須進一步完善若干細節,且整體支持程度仍不明朗。
下一步
北美資訊與控制委員會將採用:
- 批准投票的第五輪(2026年6月2日至7月2日)
- 第 7 輪一般投票(提交截止日期:2026 年 7 月 31 日;投票期間:2026 年 8 月 19 日至 9 月 18 日)
該委員會將於 2026 年 10 月 13 日至 15 日在舊金山莫斯康中心舉行的 SEMICON West 展會期間,於「北美秋季 SEMI 標準會議」上對這些選票進行評審。
作者資歷:
SEMI 北美
區域標準委員會共同主席
資訊與控制委員會共同主席
GEM 300 專案小組組長
DDA 專案小組組長
進階後端工廠整合專案小組組長
製造業數位孿生專案小組負責人
如需進一步了解 SEMI 標準,請參閱 PDF.com 上的「標準」專區。