這篇部落格文章最初發表於 cimetrix.com
工廠究竟會如何運用這些數據呢?
與本系列中其他探討 SEMI E30 GEM(通用設備模型)標準特定功能與能力的文章不同,這篇部落格文章將介紹若干仰賴從設備中收集數據的工廠應用案例。
此外,由於我們經常聽到這樣的提問:「工廠實際上是如何運用我們應提供的各類設備資訊的?」因此,本文將彙整支援這些應用所需的具體資料。此清單絕非詳盡無遺,但應能讓您了解哪些工廠利害關係人的目標,可透過 GEM 資料蒐集來達成。下圖說明了關鍵績效指標(KPI)、負責優化這些指標的工廠相關人員、用於達成此目標的應用方案,以及這些應用方案所需資料之間的關係。

分享這類資訊最有效的方式是採用表格形式。在一組相關應用程式(例如:排程、預防性維護)中,這些應用程式通常會依照複雜度由低到高的順序列出,這也與工廠應用程式開發人員實際實施時的順序相符。
| 工廠應用 | 所需設備資料 |
| OEE(整體設備效率) | 足以針對所有時間段對設備狀態進行分類的轉換事件與狀態代碼 |
| 設備內的物料流動 | 物料追蹤事件;物料位置狀態指標與狀態變更事件 |
| 流程執行追蹤 | 所有處理模組的啟動/停止事件;以及所有支援多步驟配方之處理模組的配方步驟指示器與步驟變更事件 |
| WTW(等待時間浪費)分析 | 設備內部物料流動與製程執行追蹤應用(參見上文)所需的事件組合,以及用於分類所有時間段內物料狀態所需的背景資料(更詳細的說明請參閱 SEMI E168《產品時間管理》標準) |
| 基於時間的預防性維護(PM) | 在 FRU(現場可更換單元)層級執行計時器 |
| 基於使用量的預防性維護 | 適用於各 FRU 的使用參數與累加器,例如狀態持續時間、執行週期、流體流量、耗材流量、功耗等。 |
| 基於狀態的預防性維護 | 針對每個 FRU 的具實質意義的「健康指標」 |
| FDC(故障偵測與分類) | 特定故障模型所需的設備/製程參數及相關背景資訊(這點很難完全做到,因為大多數 FDC 模型是在已知「正常」與「異常」運行狀況的基礎上進行「訓練」的,而設備供應商事先並不知道這些資訊) |
| 自動化設備攔截 | 遠端停止指令(例如:由偵測到現有或即將發生的故障的 FDC 應用程式所發出) |
| 設備配置監控 | 重要設備常數向量,包含預期值與可接受範圍;若數值取決於設定,可能需要支援多組常數。此設計旨在防範因操作員手動調整而導致的人為錯誤 |
| 元件指紋識別 | 關鍵設備機制的性能參數,包括感測器/致動器層級的指令/回應訊號 |
| 靜態工作排程 | 每種產品/製程組合的換模與生產時間,以及當前的換模資訊 |
| 即時任務調度 | 當前工作預計完成時間;設備排程中所有物料的預計完成時間 |
| 工廠循環時間優化 | 物料緩衝區內容、工作佇列資訊 |
| 營運商通知 | 在非自動化/半自動化環境中,針對操作員經常執行的操作所設定的通知代碼,例如裝載/卸載物料、選擇/確認配方,以及當設備卡住時提供手動「輔助」等。 |
| 即時儀表板 | 設備/組件生產狀態指標 |
| 設備故障分析 | 具實質意義的警報/故障代碼,以及可能的近期紀錄/統計資料 |
| 批次間製程控制 | 識別配方中的可調整參數,以及用於遠端更新這些參數的指令 |
T倘若上表所述的部分應用資料能在不同設備類型間實現標準化,便有机会建立通用工廠應用程式,此類程式僅需將供應商專屬的 GEM ID(資料擷取事件 ID、狀態/資料變數、設備常數等)映射至其通用對應項即可。不過,這將是另一篇關於 GEM 環境中「即插即用」概念的貼文所探討的主題。
我們希望這番說明能幫助您理解,設備資訊對使用這些資訊的工廠而言有多麼寶貴,因此,在您未來設計的 GEM 介面中,提供豐富的事件、變數及其他詳細資訊是多麼重要。