背景
SEMI 北美分會的資訊與控制委員會每年召開三次會議，但由於 SEMICON West 展會自今年起改為每兩年一次並移師鳳凰城舉辦，今年的會議日程有所調整。SEMI 於 6 月 2 日至 4 日在加州米爾皮塔斯的 SEMI 總部舉行了北美夏季會議。與往常一樣，本次會議採用混合形式，與會者可選擇親臨現場或遠端參與。 前兩天為專案小組會議，包括 GEM 300、ABFI（先進後端工廠整合）、GUI、CDS（晶圓廠與設備電腦及裝置安全）以及 DDA（診斷資料擷取）專案小組，並由 Cimetrix 的專案小組負責人主持。 第三天則是委員會會議，通常會根據工作小組的建議做出最終決策。本文將概述部分工作小組及委員會會議的議程內容。
請注意，所有在委員會中通過的提案，仍須接受 SEMI 全球審計與審查委員會的最終審查；若未嚴格遵循 SEMI 的相關程序與規定，該提案在技術上仍可能未能通過。雖然這種情況在北美資訊與控制委員會中較為罕見，但仍有可能發生，且確實曾發生過。
SNARF 是指「標準新 活動報告表」。在工作小組提交提案，建議制定新標準或修改現有標準之前，該項工作的 SNARF 必須先獲得技術委員會的批准。
請注意，SEMI 設有專門網站，彙整了所有全球委員會的資訊，任何人皆可瀏覽其中詳盡的內容。該網站網址為：https://www.semi.org/en/products-services/standards/developing-technical-standards。
領導層變動
在這些會議中，數項領導層變動獲得批准。過去數年來，布萊恩·魯鮑（Brian Rubow）一直擔任 SEMI 北美（NA）RSC 組織的副主席。在 NARSC 會議期間，布萊恩獲提名擔任共同主席。艾倫·韋伯（Alan Weber）則獲提名擔任「設備資料發佈」專案小組的共同負責人，以及「晶圓廠與設備電腦及裝置安全」專案小組的共同負責人。
GEM 300 專案小組
在會議舉行前幾週，布萊恩向 GEM 300 專案小組成員提交了一份 SNARF 供審閱。該 SNARF 提議制定一項新標準，藉此利用 gRPC 技術與 TLS 實現安全的 GEM 介面通訊。這項新標準將作為目前使用的 SECS-I 和 HSMS 協議的替代方案。現有的這兩種協議均不具備安全性，因此構成了網路安全風險。 針對這份 SNARF 提案的回饋顯示，各方明確認同我們需要一套安全的 GEM 通訊協定。然而，實現安全性的具體方式仍待商榷。工作小組成員提出的 gRPC 替代方案包括 HTTP/2、WebSockets 以及安全的 TCP/IP 通訊。 我們在專案小組會議上稍作討論，並計畫開始定期召開會議，就各項替代方案進行討論與辯論，直至選定技術解決方案為止。我們亦決定，在確定技術方向之前，暫緩批准此項工作的任何 SNARF。新增安全協定將是 GEM 標準的一大改進。對此主題有興趣者，歡迎加入北美 GEM 300 專案小組。
該專案小組已獲准著手修改四項標準——E30（GEM）、E40（製程工作管理）、E87（載具管理）及 E90（基板追蹤）——中廣為採用的實作方案。 在 GEM 中，我們希望釐清「處理狀態模型」集合事件的通用命名規範。由於每台設備均可根據其運作需求實作獨特的「處理狀態模型」，因此「處理狀態模型」集合事件的數量與名稱會有所不同。我們預期這些表決案的規模均相對較小。
該專案小組目前也正在針對與批次處理相關的 E90（基板追蹤）標準擬定另一份表決案（7345）。現行 E90 標準對於批次組裝與拆解時應如何通報的規定並不明確。批次位置狀態模型中，「佔用」（OCCUPIED）與「未佔用」（UNOCCUPIED）這兩項批次位置狀態，與其轉移表之間存在矛盾。 該表決案針對此矛盾提出了解決方案，並針對批次組裝與拆解新增了資料蒐集事件。此表決案已準備就緒，供工作小組成員審閱，並將於下一個投票週期提交表決。
DDA（診斷資料擷取）專責小組
DDA 專案小組在致力於敲定 EDA（設備資料擷取／介面 A）凍結 3 版標準的同時，仍保持高度活躍。所有活動均以此目標為核心。
投票案 7321A 提議對核心 EDA 標準 E120/E120.2、E125/E125.2、E132/E132.2、E134/E134.2 及 E179 進行修訂。本投票案旨在作為這些核心標準「Freeze 3」階段的最終投票案。 本提案引入一項新功能，即篩選 E125 元資料，以允許客戶端在呼叫 GetParameters、GetExceptions 及 GetSimpleEvents 時，請求設備元資料的子集。其餘的提案變更則反映了專案小組成員所提出的問題。這些問題是在上次供應商測試會議期間，或自該次會議以來，軟體開發團隊在實作 EDA Freeze 3 軟體的過程中所提出的。 投票中的兩項議案均未通過，將重新修訂並於第 7 週期進行表決，最終裁決將於 10 月的 SEMICON West 會議上作出。透過此次投票未通過的結果，我們得以解決投票案 7321B 中報告的問題，並一併解決自投票案 7321A 提交以來所通報的若干其他問題。
EDA Freeze 3 的最後一項內容是對 E164 標準（《EDA 通用元資料規範》）的更新。這項表決同樣未獲通過，將重新修訂並提交至下一個投票週期。
待 SEMI 核准並發布這兩份決議案（7321 號與 7180 號）後，我們預期 EDA Freeze 3 即告完成。屆時，我們將修訂標準 E178（《EDA Freeze 版本指南》），以正式宣告 EDA Freeze 3 版本。
除了這項工作之外，DDA 專案小組也正在制定 E164 的下位標準。每個下位標準將針對一個基於 GEM 的標準，對其 EDA 元資料進行標準化，並規範如何在 EDA 介面中實作該標準。 針對 E40（製程工作管理）的子標準已接近完成，即將提交工作小組審查。這項工作雖不在 EDA Freeze 3 的範圍內，僅在實作相關標準時才適用，但仍與 EDA Freeze 3 直接相關。這構成了剩餘工作的主要部分。
ABFI（進階後端工廠整合）專案小組
ABFI 工作小組已批准一項 SNARF，旨在針對 E142 進行修訂，以解決部分編輯上的變更，並將「已知項目」新增至下位標準 E142.4 中。
該專案小組目前也正著手擬定一份表決案，旨在更新近期發布的《E192 GEM 及 GEM 相關標準設備採用準則指南》。自該指南發布以來，已有兩項與 GEM 相關的新標準問世，包括新的網路安全標準 E191 以及新的設備資料發布標準 E190。此表決案已提交至專案小組審查，並將於下一個投票週期提交至 SEMI。
CDS（製造與設備、電腦及裝置安全）專案小組
SEMI 標準 E191《計算裝置網路安全狀態報告規範》於不到一年前發布。現行版本要求透過 GEM 介面發布兩項狀態變數，以識別設備中面向工廠端的電腦之作業系統資訊。其中一項用於識別電腦，另一項則用於識別作業系統製造商、名稱、版本及建置資訊。這有助於工廠識別廠內網路安全風險，並申請升級。 第 7311A 號表決案提議透過發布額外資訊來強化 E191 標準，並引入兩個新增的狀態變數。其中一個用於識別已安裝的更新清單，另一個則用於識別已安裝的作業系統組件。此表決案已通過，目前正等待審計與審查委員會的審查，之後將正式發布。
下一步
北美資訊與控制委員會將採用 SEMI 第 7 輪投票週期進行下一輪投票。選票須於 2025 年 7 月 24 日（星期四）前提交至 SEMI。這些選票將於 10 月 6 日至 8 日在鳳凰城會議中心舉行的 SEMICON West 展會期間進行裁決。