這篇部落格文章最初發表於 cimetrix.com
繼先前幾篇關於 SECS/GEM 系列的部落格文章(包括「 資料 擷取事件」、「資料擷取」及「警報」等主題)之後,我們現在將深入探討 GEM 功能中名為「配方管理」的特色與優勢。本文將說明配方的定義、配方管理的含義,以及您為何需要這項功能!
什麼是食譜?
配方是一組說明設備應如何處理其原料的操作指示。配方內容由設備供應商定義。
什麼是食譜管理?
配方管理功能可讓工廠主機與設備之間傳輸配方。此外,當設備上的配方發生變更時,設備也須通知工廠主機。
為什麼需要這項功能?
幾乎所有半導體工廠都需要此功能,以確保製程配方完整性並支援追溯性。主機會將經核准的製程配方從設備上傳,並儲存起來以供日後使用,藉此確保製程配方不會發生變更。為了追溯性,製程配方通常會與製程資料一同儲存。
食譜管理是怎麼運作的?
配方是透過 SECS 訊息在主機與設備之間傳遞的。為實現此功能,設有數套 SECS 訊息。E30 GEM 規範了格式化、非格式化及大型配方訊息集。本文將不討論大型配方訊息集。
此外,當操作員在設備上變更配方時,設備亦須通知主機。此時會產生一個 PPChange 集合事件,其中包含兩個資料變數:PPChangeName 包含已變更配方的 PPID,以及 PPChangeStatus 包含變更類型(建立、刪除、編輯)。
配方傳輸至設備後,設備應驗證其內容。若配方無效,則應觸發 PPVerificationFailed 集合事件,並透過包含驗證失敗資訊的 PPError 資料變數,將問題通知主機。若配方驗證失敗,則不應使用該配方。
識別
每個配方皆由一個稱為「程序識別碼」(PPID)的 ASCII 名稱來識別。工廠主機與設備的 GEM 介面會在配方操作中使用此名稱。
堅持
配方會儲存於 GEM 介面中。若主機斷線後重新連線,或設備重新啟動,GEM 介面將保留這些配方。此外,大多數工廠主機也會在工廠端儲存配方。
會使用哪些訊息?
以下是與收款事件相關的各主要訊息摘要。請注意,「S」代表「流(stream)」,「F」代表「函式(function)」。流號與函式號結合起來,可唯一識別一條訊息。
所有食譜
| 訊息編號 | 方向 | 說明 |
| S7F17 | 主機 → 設備 | 從設備中刪除一道食譜。
若清單為空,系統將刪除該設備中的所有食譜。 |
| S7F19 | 主機→設備 | 向該設備索取可用的食譜清單 |
未格式化的食譜
| 訊息編號 | 方向 | 說明 |
| S7F1 | Host<-Equipment | 上傳食譜所需的設備請求 |
| S7F3 | Host<-Equipment | 設備將配方上傳至主機 |
| S7F5 | Host<-Equipment | 設備向主機請求一個食譜 |
| S7F1 | 主機→設備 | 主機要求下載食譜 |
| S7F3 | 主機→設備 | 主機將食譜下載至設備 |
| S7F5 | 主機→設備 | 主機向設備索取食譜 |
排版好的食譜
| 訊息編號 | 方向 | 說明 |
| S7F1 | Host<-Equipment | 上傳食譜所需的設備請求 |
| S7F23 | Host<-Equipment | 設備將配方上傳至主機 |
| S7F25 | Host<-Equipment | 設備向主機請求一個食譜 |
| S7F1 | 主機→設備 | 主機要求下載食譜 |
| S7F23 | 主機→設備 | 主機將食譜下載至設備 |
| S7F25 | 主機→設備 | 主機向設備索取食譜 |
| S7F29 | Host<-Equipment | 用於驗證配方所需的設備申請 |
| S7F27 | Host<-Equipment | 設備傳送配方驗證結果 |
關於食譜管理的常見問題
食譜的最大傳輸大小是多少?
對於未格式化的配方訊息,配方要麼是單一的 ASCII 字串,要麼是二進位陣列值。單一陣列值的上限為 16.777215 MB。
格式化的配方訊息,配方會被拆分為一組項目清單。單一陣列值的上限為 16.777215 MB。訊息總大小上限為 4.294967295 GB。