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設備元資料瀏覽

透過直觀易用的介面探索設備元資料模型,協助使用者在部署資料蒐集策略之前,先了解可用的資料及設備功能。

資料蒐集計畫(DCP)管理

定義、設定及啟用 DCP,以建立符合特定設備與製程需求的結構化資料擷取系統。

多格式資料可視化

以各種格式(包括原始資料、表格視圖和條形圖)視覺化呈現所收集的資料,以支援多樣化的分析工作流程。

先進的診斷能力

利用內建的診斷功能和詳細的 SOAP 訊息記錄,以識別並排除設備實作中的合規性問題。

資料匯出功能

將彙整的資料自動匯出至 CSV 檔案,以便透過外部工具進行進一步分析,並能與現有的資料處理流程無縫整合。

「雙重凍結」版本的相容性

同時支援「Freeze Version 1(1105)」與「Freeze Version 2(0710)」,以確保跨設備世代的相容性。

規格

  • 支援的 SEMI 標準
    • SEMI E125(設備資料擷取)
    • SEMI E132(EDA 介面規範)
    • SEMI E134(資料蒐集管理)
    • EDA 凍結版本 1(1105)
    • EDA 凍結版本 2(0710)
  • 系統需求
    • 作業系統:Windows 搭配 .NET 3.5 SP1
    • 硬碟空間:至少 100 MB
    • 記憶體:至少 2GB RAM
    • 處理器:至少 2GHz 雙核心 CPU
    • 網路協定:TCP/IP
  • 資料匯出格式:
    • CSV(逗號分隔值)
    • 原始資料記錄
    • SOAP 訊息記錄

支援

我們的解決方案包含培訓資源、範例應用程式及詳細文件,以加速開發進度。Cimetrix 的全球支援團隊隨時準備在關鍵的實施階段協助工程師,確保部署過程順利且成功。

常見問題

  1. ECCE Plus 的主要用途為何?
    ECCE Plus 是一套用於驗證 EDA/Interface A 設備端實作的綜合性驗證工具。它能讓原始設備製造商(OEM)和半導體晶圓廠在將系統部署至生產環境之前,驗證設備連通性、確認訊息格式,並確保符合 SEMI EDA 標準。
  2. ECCE Plus 支援哪些 EDA 凍結版本?
    ECCE Plus 同時支援 EDA 凍結版本 1(1105)與凍結版本 2(0710),確保能與各代設備及多種實施策略相容。
  3. ECCE Plus 能否匯出資料以供外部分析?
    ECCE Plus 具備強大的資料匯出功能,讓使用者能將收集到的資料儲存為 CSV 格式,以便透過外部工具進行進一步分析,並與現有的資料工作流程整合。
  4. ECCE Plus 提供哪些診斷功能?
    ECCE Plus 提供進階診斷功能,包括:

    • 完整的 SOAP 訊息記錄
    • 模式驗證
    • 瀏覽設備元資料
    • 用於識別並解決 SEMI EDA 標準合規性問題的詳細分析工具
  5. ECCE Plus 的最低系統需求為何?
    • 作業系統:Windows,搭配 .NET Framework 4.8
    • 安裝程式:Windows Installer 4.5 或更新版本
    • 儲存空間:至少 100 MB,另需額外空間用於記錄日誌
    • 記憶體:2 GB RAM
    • 處理器:2 GHz 雙核心 CPU
    • 網路:支援 TCP/IP 協定
  6. ECCE Plus 是如何支援「資料蒐集計畫」(DCP)的管理?
    ECCE Plus 提供功能齊全的 DCP 管理工具,讓使用者能夠:

    • 定義自訂資料收集參數
    • 即時啟用並監控 DCP
    • 以表格和條形圖格式視覺化資料
    • 在相容的設備之間複製 DCP,前提是兩套系統均具備所需資料